氦質譜檢測儀的標準器選擇

北京科儀創(chuàng)新真空技術有限公司專業(yè)生產氦質譜檢漏儀，今天科儀創(chuàng)新的小編就大家來分享一下氦質譜檢漏儀的標準器的選擇，希望對大家有所幫助！

標準器 采 用 滲 氦 型 標 準 漏 孔，漏 率 標 稱 值 在( 10 - 6 ～ 10 - 10 ) Pa·m3 /s，不確定度不大于 10% 。

精密玻璃溫度計，測量范圍(0 ～ 50) ℃ ，不確定度 U = 0. 04℃ ，k = 2。

氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇

氦質譜檢漏儀廠家的氦質譜檢漏儀對示漏氣體的要求及選擇一般應從以下幾方面考慮：

(1)無害，不能對人體或環(huán)境造成傷害;

(2)質量輕，惰性氣體，穿透能力強，能穿透微小細縫;

(3)化學性質穩(wěn)定，不會引起化學反應和易1燃易1爆;

(4)在空氣環(huán)境中含量盡可能少且組分基本恒定的氣體，滿足檢漏靈敏度方面的要求，減少本底干擾檢測的準確性。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體，空氣中的含量少，質量輕，運動速度快，分子直徑小，同等條件下，直線運動距離長。按照收集氦氣方式的不同，又可以將正壓法分為正壓吸槍法和正壓累積法。在實際使用中，也相對比較容易獲取，可以大量使用。由于He具有無色、無臭、無活性、不可燃的特性，因此一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學性質及危險性，在應用中較少使用，所以實際大部分檢漏使用的都是氦氣。

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檢漏儀使用中注意事項

檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點：

①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內，電壓過低儀器啟動困難，且性能不穩(wěn)定，電壓過高會燒壞電源，嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵，應連接穩(wěn)壓電源(UPS)。

②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中，若搬動檢漏儀，容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。

③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養(yǎng)，保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。

本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法，其中儀器內部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個易被忽視卻又易產生故障的環(huán)節(jié)，當檢漏部位的復檢結果不一致時，就需檢測儀器內部是否有漏。檢漏儀內部結構緊湊，定位難度大，本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴槍的方式，提高了密封部位定位的能力。（4）全無油的干式檢漏：有些國家生產的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。檢漏儀是檢漏工作的核心部件，在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結和歸納。對檢漏工作者具有一定的參考價值。

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