無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計(jì)開始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個(gè)核心。潔凈廠房保潔也離不開這個(gè)核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對(duì)塵埃控制有了很高的保障，但是，建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會(huì)不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級(jí)、100000級(jí)潔凈廠房(因建造成本限制)。

對(duì)于半導(dǎo)體工業(yè)而言，無塵室是一必要且不可缺之設(shè)備，其對(duì)空氣中的粒子要求非常之嚴(yán)格，故對(duì)天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴(yán)格。地板是人員、臺(tái)車及重量的運(yùn)輸，而清除地板所用者大部分為消毒的藥品及化學(xué)藥品，當(dāng)我們看見地板磨損時(shí)，也就是使用期已太久，快破了，不僅會(huì)使得清靜度的降級(jí)，也會(huì)因地板的磨損而發(fā)生空氣中粒子的增加。