氦質譜檢漏儀（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到僅對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。

氦質譜檢漏方式 氦質譜檢漏技術性是真空泵檢漏行業(yè)里必不可少的一種技術性，因為檢漏率，簡單易實際操作，儀器設備反映靈巧，，不容易受別的氣體的干撓，在電阻爐檢漏中獲得了廣泛運用。氦質譜檢漏儀是依據質譜學基本原理，用氦氣作示漏氣體做成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、采l集器、冷陰極弱電解質規(guī)構成的質譜室和抽真空系統軟件及電氣設備一部分等構成。質譜房內的燈絲發(fā)射點出去的電子器件，在房間內往返地l震蕩，并與房間內氣體和經標準孔板進到房間內的氦氣互相撞擊使其弱電解質成正離子，這種氦電離在加快靜電場功效下進到電磁場，因為洛倫茲力功效造成偏移，產生圓弧狀路軌，更改加快工作電壓可讓不一樣品質的電離根據電磁場和接受縫抵達接受極而被檢驗。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中l(wèi)常見的二種方式 。

差壓氣密性檢測方式：也叫比較法，需要一個標準無泄漏的產品(或者工件內部容積與檢測產品容積相差不大的密封罐體)。 原理在密閉的待測品內通入一定壓力的氣體，同時在一個標準品內通入同樣壓力的氣體，靜止一段時間，觀察標準罐體內 的壓力與工件內的壓力差從而判定產品是否泄漏。此氣密性檢測儀檢測方式檢測精度高，但是通用性不強，需要兩個工裝， 檢測成本與壓降型相對高一倍。