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發(fā)布時(shí)間:2021-09-10 07:36  
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質(zhì)量流量計(jì)如何工作的
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)件由兩個(gè)插入流體管道中的圓柱形探頭構(gòu)成。被加熱探頭里面含有一個(gè)加熱器,在靠近壁面附近布置一個(gè)溫差熱電偶并用導(dǎo)熱系數(shù)與密度之比較大的石墨填充。探頭內(nèi)布置一個(gè)熱電偶并用石墨填充。為更好的進(jìn)行動(dòng)態(tài)測量,所用熱電偶均采用直徑為0.1mmK型的NiCr-NiSi.。系統(tǒng)熱平衡分析當(dāng)流量傳感器被置于流體管道中,在流態(tài)穩(wěn)定時(shí),探頭與周圍介質(zhì)處于近似的熱平衡狀態(tài),這時(shí)流體、探頭、測量桿和管道組成一個(gè)傳熱系統(tǒng),此時(shí)的系統(tǒng)熱平衡方程為:傳感器世界2007.9.靜態(tài)變化函數(shù)曲線氣流方向閥門待標(biāo)定流量計(jì)。標(biāo)定方案示意圖。通常流體密度變化小,可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比,因此流速的補(bǔ)償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進(jìn)行補(bǔ)償。標(biāo)定曲線利用傳熱學(xué)理論,結(jié)合熱式流量計(jì)應(yīng)用的工況場合,對(duì)于實(shí)際的熱交換過程有: 1、熱探頭與流體間的對(duì)流換熱對(duì)流換熱a包括受迫對(duì)流換熱和自然對(duì)流換熱。假設(shè)流管橫置,熱探頭壁面與流體溫差為60*C,則當(dāng)流體流速大于1m/s時(shí),G/e2<0.1,此時(shí)自然對(duì)流換熱與由于流體運(yùn)動(dòng)所導(dǎo)致的受迫對(duì)流換熱相比十分微弱。實(shí)際測量中G/2<<1,可以忽略自然對(duì)流換熱的影響。 2、熱探頭向測量桿構(gòu)架的導(dǎo)熱02隨著構(gòu)架材料導(dǎo)熱系數(shù)的不同,02差別很大。在探頭設(shè)計(jì)中,盡可能采用導(dǎo)熱系數(shù)小的材料制造構(gòu)架并采用絕熱、絕緣硅膠對(duì)探頭密封以減少導(dǎo)熱量。導(dǎo)熱量02計(jì)算公式如下:,dt A一桿構(gòu)架的橫截面積;A―桿構(gòu)架導(dǎo)熱系數(shù)。 3、熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)熱探頭向周圍的輻射換熱03熱探頭表面溫度為,它要向氣流和另一個(gè)探頭進(jìn)行輻射換熱。將探頭表面磨光或鍍上一層發(fā)射率小的金屬并使其溫度保持在100*C之內(nèi),以減小輻射換熱。根據(jù)輻射換熱公式:一斯特藩一波爾茲曼常數(shù);4一探頭外表面面積;一熱探頭溫度;T:來流溫度。
什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。當(dāng)氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。
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流量控制器的具體內(nèi)容
1.提高開表率在儀表設(shè)備管理中,開表率的定義是:(儀表總臺(tái)數(shù)一未正常使用的儀表臺(tái)數(shù))/儀表總臺(tái)數(shù)。因此,提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。
2.節(jié)省費(fèi)用這里所說的費(fèi)用除了儀表購置費(fèi)之外,還應(yīng)計(jì)入附件購置費(fèi)、安裝調(diào)試費(fèi)、運(yùn)行費(fèi)、備品備件費(fèi)、維護(hù)和定期校準(zhǔn)(檢定)費(fèi),而質(zhì)量流量控制器的平均壽命攤?cè)氲恼叟f費(fèi)也不是可忽視的。
3.提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報(bào)警的流量儀表如果不可靠,應(yīng)該聯(lián)鎖動(dòng)作時(shí)不動(dòng)作,容易釀成事故,不該動(dòng)作時(shí)亂動(dòng)作,容易導(dǎo)致不應(yīng)有的停車,造成損失。工業(yè)爐窯中的燃料流量計(jì)如果不可靠,造成流路堵塞,容易導(dǎo)致爐子熄火,釀成事故。一、壓力狀況在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa,壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。用于過程控制的流量儀表如果不可靠,容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯(cuò)誤信息,導(dǎo)致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào),破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定,影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗,造成損失。可以看出,流量儀表的可靠性是較為重要的。
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流量控制器
選擇產(chǎn)品和訂貨時(shí)應(yīng)當(dāng)注意
注意選擇合適的響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)
有的應(yīng)用系統(tǒng)對(duì)MFC的響應(yīng)時(shí)間有較高的要求,用戶應(yīng)根據(jù)自己的情況加以考慮。在考慮響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)的同時(shí),還應(yīng)注意其響應(yīng)過程及動(dòng)態(tài)特性。
注意對(duì)安裝位置有無要求
有的廠家的產(chǎn)品要求必須水平位置安裝。
注意使用氣體和適用范圍
MFM/MFC 對(duì)使用的環(huán)境及介質(zhì)溫度﹑氣源壓力﹑介質(zhì)(特別是使用對(duì)腐蝕性氣體)情況等均有一定適用范圍,請(qǐng)注意閱讀說明書或向廠家咨詢。
注意接頭形式
通常有雙卡套(Swagelok)和VCR兩種接頭可以選擇, VCR接頭性能更好適合于應(yīng)用。
訂貨應(yīng)注明:
產(chǎn)品名稱、型號(hào)、流量規(guī)格、標(biāo)定氣體、使用氣體(特別是腐蝕性氣體)、接頭形式和數(shù)量。