氣體管路要求

所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端，對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。（比如通風(fēng)柜）。氣體管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。氣體，如需要和其他氣體分開單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí)，其間距不應(yīng)小于0.5M；交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置，此凈化裝置需要并聯(lián)一路，用單獨(dú)的閥門隔離，以方便對(duì)過濾裝置進(jìn)行維修。高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。每隔1.5米左右，氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑，設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣體管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。

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基本功能模塊

數(shù)據(jù)分析及導(dǎo)出 ：所有數(shù)據(jù)可按照用戶設(shè)定的時(shí)間段進(jìn)行導(dǎo)出，方便實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析

實(shí)時(shí)曲線圖，歷史曲線圖 ： 簡(jiǎn)單直觀查看歷史曲線和實(shí)時(shí)曲線，方便過程監(jiān)控

自動(dòng)濃度配氣 ：針對(duì)配氣實(shí)驗(yàn)需要，可實(shí)現(xiàn)濃度自動(dòng)換算，或根據(jù)濃度值自動(dòng)分配流量

MFC故障診斷：針對(duì)不同型號(hào)的MFC可實(shí)現(xiàn)故障診斷、報(bào)警、處理等功能。

自動(dòng)吹掃：根據(jù)用戶需要，自動(dòng)設(shè)定吹掃時(shí)間及吹掃方式

自動(dòng)檢漏 ：可通過截止閥的聯(lián)動(dòng)，配以一定算法，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢漏功能

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