室內(nèi)面積達(dá)24m2,其工作潔凈度達(dá)1000級

室內(nèi)面積達(dá)24m2 ,其工作潔凈度達(dá)1000 級,在局部2m2 的光刻工藝區(qū)、凈化工作臺以及凈化涂膠機(jī),工作潔凈度達(dá)100 級。室內(nèi)用于顯影及清洗器件的高純水,是由設(shè)在室外的潔凈水循環(huán)系統(tǒng)引入,該系統(tǒng)以去離子水為原水,經(jīng)精密過濾、紫外線殺菌及離子交換,極大提高了水質(zhì)純度,其輸出水質(zhì)電阻率≥15MΩ。在工作人員健康保障方面,超凈室設(shè)有空調(diào)、凈化排風(fēng)系統(tǒng)。涂膠臺及電鍍腐蝕工作臺設(shè)置了獨(dú)立的對外排風(fēng)系統(tǒng),從而也降低了環(huán)境污染?？照{(diào)系統(tǒng)保障了室內(nèi)濕度≤60 % ,工作溫度保持18 ℃—25 ℃。室內(nèi)循環(huán)凈化送風(fēng)系統(tǒng)以及光刻工作區(qū)層流罩循環(huán)凈化系統(tǒng)為室內(nèi)潔凈度提供了保障。

建筑原有結(jié)構(gòu)體系、未來生產(chǎn)的特殊性

如果涉及到GMP車間布置，那么首先要考慮的就是建筑原有結(jié)構(gòu)體系，如是磚墻結(jié)構(gòu)還是鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)，是單層、低層還是高層，以及承重墻位置等，通常凈化公司在進(jìn)行潔凈車間設(shè)計(jì)時首要考慮的有兩大要素，即：建筑原有結(jié)構(gòu)體系、未來生產(chǎn)的特殊性。固體制劑生產(chǎn)：在這類工廠裝修的GMP車間布置上，由于其各生產(chǎn)單元步驟相對獨(dú)立，所以建議利用廠房原有分隔布置，但前提條件是結(jié)合設(shè)備情況，事先安排好設(shè)備的進(jìn)場安裝及維修路線。

凈化工程智能自控系統(tǒng)采用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)技術(shù)、模糊控制技術(shù)

凈化工程智能自控系統(tǒng)采用先進(jìn)的計(jì)算機(jī)技術(shù)、模糊控制技術(shù)、PID控制技術(shù)，系統(tǒng)集成技術(shù)和變頻調(diào)速技術(shù) ，系統(tǒng)控制對象主要包括空調(diào)機(jī)組控制、新風(fēng)機(jī)組控制、冷凍水系統(tǒng)控制、冷卻水系統(tǒng)控制、冷卻塔風(fēng)機(jī)控制、熱水系統(tǒng)控制、生產(chǎn)現(xiàn)場工藝水系統(tǒng)等。它們在自動化系統(tǒng)的監(jiān)控和管理下，使被控區(qū)域內(nèi)的溫、濕度、壓力等達(dá)到預(yù)期的目標(biāo)，同時以低的能源和電力消耗來維持系統(tǒng)和設(shè)備的正常工作，以求取得低的運(yùn)行成本和高的經(jīng)濟(jì)效益。

100級潔凈間的氣流形式

100級潔凈間的氣流形式是層流方式，空氣以均勻的斷面速度沿同一水平方向流動，與流體力學(xué)的層流概念不太相同，垂直方向?qū)恿鞑⑶覀?cè)回風(fēng)。和百級以上潔凈間絮流方式(即空氣以不均勻的速度呈不平行流線流動)相比較，它具有效果完全、運(yùn)轉(zhuǎn)迅速穩(wěn)定、使得空氣的塵埃粒子含量少，控制管理方便容易等優(yōu)點(diǎn)，但是設(shè)備價格高令一些中小廠家難以承受，維護(hù)費(fèi)用也很高。