閉路循環(huán)氣氦制冷機低溫泵，它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵（圖）。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易于維修，應用日漸廣泛。制冷機的制冷介質(zhì)為氣氦，一級冷板溫度為50～100K，典型應用是65K,用來冷凝水蒸汽和預冷其他氣體;二級冷板溫度為10～20K，用來冷凝氮、氧等氣體。在二級冷板的內(nèi)表面涂以活性炭?；钚蕴康谋缺砻娣e為500～2500米2/克，在低溫下對氦有很強的吸附能力。

立式結構：適于埋裝在地下，不會受電動機熱風、空氣溫度和日照等影響，易于保冷；能降低泵的吸上高度，增加灌注頭，提高有效汽蝕余量；立式結構還有利于排氣，使懸掛軸有足夠高度便于布置軸封裝置，故該泵也稱為立式筒型泵。凝結熱與氣體種類有關，對于 80K、133.322帕·升的氮氣冷凝在20K冷板上的凝結熱為0.3～0.6焦耳。工作冷板接受的輻射熱與周圍壁面板溫度和工作冷板溫度兩者的4次方之差成正比。因此，4.2K和20K工作冷板均用50～100K的冷板來屏蔽，以減少工作冷板所接受的輻射熱。