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發(fā)布時間:2021-10-25 08:45  
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一種低溫多晶硅制備方法及微波加熱設(shè)備.其中,該低溫多晶硅的制備方法包括:提供一基板;在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層;進(jìn)行微波加熱,將所述非晶硅層晶化為多晶硅層;其中,在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層之前,和/或,在所述基板的一側(cè)形成非晶硅層之后以及在進(jìn)行微波加熱將所述非晶硅層晶化為多晶硅層之前,還包括:形成晶化誘導(dǎo)膜.本發(fā)明實施例提供的低溫多晶硅制備方法和微波加熱設(shè)備,可以解決常規(guī)多晶硅退火工藝晶化均一性低,工藝難度大,產(chǎn)品良率低的問題,使多晶硅制備溫度有效降低,晶粒也更加均勻,同時,可以降低制備工藝難度和設(shè)備成本,獲得成本更低,品質(zhì)更高且良率更高的多晶硅產(chǎn)品.
選擇性加熱,節(jié)能高能效果。微波對具有不同介質(zhì)特性的材料有不同的影響,這對干燥和加工特性非常有利。因為水分子對微波的吸收效果很好,所以水分很高的部分吸收的微波功率很大。它僅直接加熱可以吸收微波能量的物體,而幾乎不加熱爐體和爐腔中的空氣。用微波加熱時,一般將加熱后的物料排出到金屬制的加熱容器中,加熱腔是一個封閉的無線電波腔,微波不能泄漏出去,只能被加熱物體吸收,空氣加熱腔內(nèi)及相應(yīng)的容器中不會加熱,因此熱效率非常高,因此高能效果,節(jié)能并改善了工作環(huán)境。
發(fā)泡用微波加熱設(shè)備,包括支撐腳,豎桿,微波發(fā)生器,電機,主動輥和間歇傳送機構(gòu),本實用新型通過在防護(hù)罩后端設(shè)置了間歇傳送機構(gòu),當(dāng)模具移動至到驅(qū)動桿上端時,驅(qū)動桿將模具卡住,阻止模具的運動,接下來轉(zhuǎn)動機構(gòu)轉(zhuǎn)動帶動轉(zhuǎn)盤進(jìn)行轉(zhuǎn)動,使轉(zhuǎn)盤往前端推動限位齒解除對棘輪的限位,從而使磨具通過驅(qū)動桿帶動固定盤和轉(zhuǎn)桿進(jìn)行轉(zhuǎn)動,使轉(zhuǎn)桿帶動棘輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動,隨著轉(zhuǎn)盤繼續(xù)轉(zhuǎn)動,上端的凸塊解除對限位齒的推動,使限位齒卡于棘輪下一個凹槽內(nèi),使驅(qū)動桿對下一個模具進(jìn)行限位,達(dá)到了能夠?qū)δ>哌M(jìn)行間歇傳送,對發(fā)泡時間進(jìn)行調(diào)控的優(yōu)點.