FFU循環(huán)系統(tǒng)的特點(diǎn)是：整個潔凈室由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風(fēng)通道組成，由FFU提供循環(huán)空氣的動力，將新風(fēng)、循環(huán)風(fēng)混合后通過超過濾器送入工藝層和工藝輔助層，靜壓層相對于工藝層為負(fù)壓。此外，還有生產(chǎn)輔助區(qū)為集成電路制造廠務(wù)設(shè)備區(qū)域，包括電力供應(yīng)、氣體和化學(xué)品供應(yīng)、超純水供應(yīng)等。風(fēng)機(jī)在運(yùn)行中，本身溫度升高，電動機(jī)在運(yùn)行中，電動機(jī)表面溫度也升高，如果風(fēng)機(jī)及電動機(jī)均設(shè)置在空氣處理室內(nèi)，則空調(diào)系統(tǒng)不僅要承擔(dān)處理空氣的能量，還要承擔(dān)消除由于風(fēng)機(jī)、電動機(jī)散熱所消耗的能量。

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　壓縮空氣滅菌設(shè)備通常使用空氣過濾器對空氣進(jìn)行過濾除了菌；空氣過濾技術(shù)多用于通風(fēng)及空調(diào)進(jìn)氣系統(tǒng)中，凈化大氣中的粉塵顆粒，使進(jìn)入室內(nèi)空氣更為干凈，利用空氣過濾器能捕集亞微米粒子；不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。空氣過濾器的纖維組織常使用金屬網(wǎng)格、無紡織物或特殊紙質(zhì)的濾料，也可根據(jù)不同的凈化要求使用不同的濾材，但其所用濾料孔隙較大；空氣過濾器的入口質(zhì)量濃度一般低于5mg/m3，而其出口質(zhì)量濃度有的可以低到1m3空氣幾個微粒計(jì)數(shù)。

　適當(dāng)降低安徽車間凈化內(nèi)的靜壓值：安徽車間凈化在運(yùn)行中必須保證一定的靜壓值，目的是為了保持室內(nèi)必要的潔凈度而不受外界污染空氣的影響，潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范規(guī)定，不同等級的潔凈室及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5pa，潔凈區(qū)與室外靜壓差不應(yīng)小于10Pa；把手放入消毒液中浸泡至少40秒鐘（只要露出潔凈服的手的部位均要浸到消毒液），再用清水沖洗干凈后烘干。在安徽車間凈化的運(yùn)行中，不同等級的潔凈室及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差保持在3Pa，潔凈區(qū)與室外靜壓差保持在6Pa即可保證安徽車間凈化不受外界空氣的污染；由于靜壓差的降低，即可降低凈化空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)的處理量，此時(shí)不僅可以減少處理為保證靜壓而需要的新風(fēng)量所消耗的冷、熱量，還可減少風(fēng)機(jī)的電耗，采用變風(fēng)量運(yùn)行方式是較為理想的節(jié)能方式。