半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計(jì)的設(shè)計(jì)范圍包括：裝修方案（圍護(hù)、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險(xiǎn)控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法

現(xiàn)今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無塵凈化車間不僅能對產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時(shí)還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。對于有機(jī)廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因?yàn)榘雽?dǎo)體工藝過程中有機(jī)廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時(shí)）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點(diǎn)，使用其他的處理技術(shù)難以達(dá)到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。

潔凈室建筑之外單獨(dú)建立機(jī)房

在潔凈室建筑之外單獨(dú)建立機(jī)房，但其離潔凈室很近。機(jī)房要注意隔振、隔音問題，地面應(yīng)全部做防水處理，并有排水措施。隔振：應(yīng)在振源的風(fēng)機(jī)、電機(jī)、水泵等的支架、底座作防振處理，甚至有必要的話將設(shè)備安在混凝土板塊上，再用防振材料支撐該板塊，該板塊的重量應(yīng)為設(shè)備總重量的2～3倍，。隔聲：除去系統(tǒng)上安裝消聲器外，大型機(jī)房可考慮在墻壁上貼附有一定吸聲性能的材料，要裝隔聲門，切忌在與潔凈區(qū)的隔墻上開門。