表面粗糙度是表征光學(xué)元件表面質(zhì)量的一個(gè)重要指標(biāo) ,這使得人們不斷致力于改進(jìn)表面粗糙度的測(cè)量技術(shù) ,以提高其測(cè)量精度。然而很多實(shí)驗(yàn)表明 ,在對(duì)超光滑表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量時(shí) ,對(duì)于同一個(gè)表面 ,不同類型的表面輪廓儀通常會(huì)給出不同的結(jié)果 ,這使得測(cè)量結(jié)果之間的可比性成為問(wèn)題。針對(duì)這種情況 ,分析了表面輪廓儀的帶寬對(duì)表面粗糙度測(cè)量的影響。

二次元影像測(cè)量?jī)x，又叫影像測(cè)繪儀，它是集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等為一體的高精密測(cè)量?jī)x器。因此對(duì)兩種不同類型的輪廓儀測(cè)得的結(jié)果一般不能直接進(jìn)行比對(duì)。結(jié)果表明 ,表面輪廓儀的帶寬對(duì)表面粗糙度測(cè)量有著重要影響 ,輪廓儀的帶寬越寬 ,則給出的測(cè)量值越大 ,也越接近真實(shí)值。并用離散傅里葉變換方法計(jì)算了表面粗糙度測(cè)量值隨表面輪廓儀帶寬的變化。

隨著時(shí)代的發(fā)展，越來(lái)越多產(chǎn)品需要輪廓儀進(jìn)行測(cè)量，那輪廓儀是如何測(cè)量一件物體的呢下面就讓我們來(lái)了解一下吧。啟動(dòng)前的準(zhǔn)備工作在當(dāng)前儀器市場(chǎng)上，許多精密儀器對(duì)環(huán)境的要求更高？集成電路行業(yè)中，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可以測(cè)量硅晶圓或陶瓷晶圓的表面粗糙度；EMES行業(yè)中，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度；軍事領(lǐng)域，SuperView W1系列光學(xué)輪廓儀可測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗的表面粗糙度；