氣體通分析：高純氣體的原材料難以再產(chǎn)

高純?cè)蠚怏w的質(zhì)量對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的準(zhǔn)確性，起著至關(guān)重要的作用，原料氣的不確定是構(gòu)成標(biāo)準(zhǔn)氣體合成不確定度的極為重要部分，因此，沒(méi)有高質(zhì)量的高純?cè)蠚?，就根本制備不出高?zhǔn)度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。5um的集成電路材料的蝕刻中，三氟化氮具有非常優(yōu)異的蝕刻速率和選擇性，在被蝕刻物表面不留任何殘留物，同時(shí)也是非常良好的清洗劑。也正因如此，我國(guó)早在八十年代，為了標(biāo)準(zhǔn)氣體的需要，原化工部對(duì)我國(guó)的高純氣體研制進(jìn)行了多年的資金支持。

而不會(huì)產(chǎn)生偏離預(yù)置零點(diǎn)以外的響應(yīng)信號(hào)。對(duì)不同類(lèi)型的檢測(cè)方法和不同燈頭型的檢測(cè)儀器，低檢測(cè)限會(huì)對(duì)零點(diǎn)氣體提出不同的要求。近年來(lái)，標(biāo)準(zhǔn)氣體由于競(jìng)爭(zhēng)加劇，利潤(rùn)下滑，標(biāo)氣生產(chǎn)廠(chǎng)對(duì)所用的高純?cè)蠚膺M(jìn)價(jià)也十分計(jì)較，這樣大量低價(jià)的劣質(zhì)原料氣也隨之出現(xiàn)，如將工業(yè)當(dāng)成高純出售，其實(shí)目前市面所常見(jiàn)的多為硫加氫（S H2→H2S）干法合成的工業(yè)級(jí)的H2S。 如用在線(xiàn)分析儀器測(cè)量CO2高純氣體中的總烴含量時(shí)，可采用氣相色譜法用氫火焰離子化檢測(cè)器（FID）檢測(cè)，由于FID存在強(qiáng)烈的基體效應(yīng)，當(dāng)采用不同基體的零點(diǎn)氣校正儀表時(shí)，會(huì)導(dǎo)到致不可忽略的誤差。   

高純CO2可采用不同方法制取，如合成氨法、煤氣化法、乙烯氧化法、地下氣井法、發(fā)酵法等。高純氣體發(fā)展：高純度氣體是工業(yè)氣體，近年來(lái)，隨著國(guó)1防工業(yè)，科研，自動(dòng)化技術(shù)，精密的檢測(cè)，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，并開(kāi)發(fā)出新的范圍。但可看到，用發(fā)酵法制取的食品級(jí)CO2,其中所含烴類(lèi)雜質(zhì)組成相對(duì)比較簡(jiǎn)單（僅含甲1醇、乙醇、乙1醚、丙1酮、乙1酸乙酯、乙1醛等），適于選用作為零點(diǎn)氣的基本成分，此種高純CO2再經(jīng)催化氧化脫烴凈化、干燥以后，可作為校準(zhǔn)儀表用CO2中總烴的“零點(diǎn)”氣。