光波超精密技術(shù)研究院——滾動(dòng)花崗石氣浮導(dǎo)軌

安置設(shè)備的房間的使用面積要求（盡量滿足）：長(zhǎng)度實(shí)際需求 5 米；寬度≥4 米；高度 3.5 米。

設(shè)備安置房間應(yīng)遠(yuǎn)離跑道，周圍無震源，墻體不為外墻，周圍建立防帶。具體要求請(qǐng)建筑設(shè)計(jì)人員根據(jù)長(zhǎng)距離精密計(jì)量及校準(zhǔn)防震的通用要求設(shè)計(jì)。若該校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室能建于地下是較為理想的（1、能實(shí)現(xiàn)大尺寸校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室所需要的穩(wěn)定的環(huán)境溫度要求；2、易于實(shí)現(xiàn)大尺寸精密校準(zhǔn)所需要的每小時(shí)溫度的變化量要求；3、能節(jié)約能源等）。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——滾動(dòng)花崗石氣浮導(dǎo)軌

氣源要求

供氣壓力： >0.7 MPa

耗氣量： 1.5M3/min

氣源的出口溫度：20±4 ℃

推薦：使用空壓機(jī) 冷凍干燥機(jī) 二級(jí)過濾。

溫度要求

溫度要求： 20℃±2℃ (精度校驗(yàn)應(yīng)滿足 20℃±1℃)

溫度時(shí)間梯度：≤0.8℃/小時(shí)&≤1℃/24 小時(shí)  

溫度空間梯度: ≤0.6℃/m

注意:不應(yīng)受到太陽(yáng)照射，不應(yīng)靠近暖氣，不應(yīng)靠近進(jìn)出通道。溫度將會(huì)直接影響測(cè)量精度及穩(wěn)定性。

濕度要求：

空氣相對(duì)濕度： 40%-70%

推薦：現(xiàn)場(chǎng)請(qǐng)至少配備一個(gè)高靈敏度干濕溫度計(jì)。

注意：過高濕度會(huì)導(dǎo)致機(jī)器表面、電機(jī)凝結(jié)水份，增大測(cè)量設(shè)備故障概率降低使用壽命?？照{(diào)的進(jìn)回風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)繞開精密導(dǎo)軌的主校準(zhǔn)測(cè)量區(qū)域。

光波超精密——滾動(dòng)花崗石氣浮導(dǎo)軌

滾動(dòng)導(dǎo)軌是直線導(dǎo)軌的一種。滾動(dòng)直線滑軌是一種滾動(dòng)導(dǎo)引，它由在滑塊與滑軌之間作無限滾動(dòng)循環(huán)，使得負(fù)載平臺(tái)能沿著滑軌輕易的以高精度作線性運(yùn)動(dòng)，其摩擦系數(shù)可降至傳統(tǒng)滑動(dòng)導(dǎo)引的1/50，使之能輕易地達(dá)到μm級(jí)的定位精度。

滾動(dòng)導(dǎo)軌的優(yōu)點(diǎn)

1、靈敏度高，且其動(dòng)摩擦與靜摩擦系數(shù)相差甚微，因而運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，低速移動(dòng)時(shí)不易出現(xiàn)爬行現(xiàn)象。

2、定位精度高，重復(fù)定位精度可達(dá)0.2μm。

3、摩擦阻力小，移動(dòng)輕便，磨損小、精度保持性好。

滾動(dòng)導(dǎo)軌特別適用于機(jī)床的工作部件要求移動(dòng)均勻、運(yùn)動(dòng)靈敏及定位精度高的場(chǎng)合。

氣浮導(dǎo)軌組成部分

(1)導(dǎo)軌座和溜板；

(2)節(jié)流器，如小孔節(jié)流器、毛細(xì)管節(jié)流器、、薄膜反饋節(jié)流器等；

(3)供氣系統(tǒng)及調(diào)節(jié)裝置。

閉式靜壓導(dǎo)軌具有如下特點(diǎn)：

(1)能夠承受正反向的載荷，能夠承受偏載荷以及顛覆力矩的能力比較強(qiáng)；

(2)氣膜剛度較高，所以對(duì)導(dǎo)軌本身的結(jié)構(gòu)的剛度要求比較高；

(3)導(dǎo)軌制造及調(diào)整比較復(fù)雜；

(4)為了減少功率的損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般是采用不等面積氣腔的結(jié)構(gòu)。