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發(fā)布時間:2021-01-01 13:56  
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多線切割機
近年來,由于國家的重視,將極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項課題列入國家重大科技專項,另外,國內有關設備制造企業(yè)也看到了這個巨大的商機,大力投入人力物力開展艱苦的研制開發(fā),先以模仿為主,逐漸轉向自主創(chuàng)新,研制出有自身知識產權的多線切割機。切割速度的選擇:金剛石線鋸的切割屬于柔性切割,利用金剛石顆粒的硬度比被切割的材料堅硬,切割過程中不銹鋼線上鍍有的金剛石顆粒層與被切材料進行往復磨削,達到切割的目的。
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金剛石線切割機
金剛石線切割機常用的金剛石線有電鍍型和樹脂型兩種。
1、電鍍型:用電鍍的方法在金屬絲上沉積一層金屬(一般為鎳和鎳鈷合金),并在金屬內固結金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。金屬鍍層是結合劑,金剛石磨料則用于切削加工。
2,、樹脂型:樹脂金剛石線是在原有鍍銅超細鋼絲線上噴涂一種增強耐磨合金、特種樹脂和金剛石超微粉的切割線,主要應用于單晶硅、多晶硅、藍寶石、水晶、陶瓷和半導體材料的切割上,能取代目前碳化硅砂漿法,解決了環(huán)境污染。

高速線切割設備
樹脂金剛石線的特點:
高強度樹脂及金剛石相結合帶來的強的切割能力,線徑及金剛石粒度的配合及控制表現(xiàn)出了更好的硅片表面質量及切割表現(xiàn),高耐扭曲能力的母線帶來了非常低的斷線率。但樹脂金剛石線的工藝復雜,目前主要依靠進口,其成本較高,因此還得不到廣泛的應用。
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