石英加速度傳感器是用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度傳感器，且其結(jié)構(gòu)與工藝與之野夫式的結(jié)果大大的簡化了。目前這種石英撓性加速度傳感器已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性體系中。為了掌握加速度計(jì)內(nèi)部溫度場規(guī)律,得到內(nèi)部的實(shí)時(shí)溫度,建立石英撓性加速度計(jì)的熱模型,進(jìn)行熱分析。根據(jù)仿模型設(shè)計(jì)溫度試驗(yàn),驗(yàn)證了模型的正確性。在加速度計(jì)穩(wěn)定狀態(tài)下,溫度值與試驗(yàn)值差0.2℃左右;根據(jù)試驗(yàn)結(jié)果對(duì)結(jié)果進(jìn)行修正,將修正后的結(jié)果與試驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行比較,得到兩者的差值為-0.011℃,有效地提高了結(jié)果的準(zhǔn)確性。因此,可以通過修正結(jié)果得到加速度計(jì)內(nèi)部的實(shí)時(shí)溫度。

石英撓性加速度傳感器的性能指標(biāo)；測量精度高，重復(fù)性佳，單軸石英撓性加速度計(jì)可靠性高體積小，重量輕寬壓供電，功耗低。模擬電信號(hào)輸出技術(shù)指標(biāo)技術(shù)性能量程±60g閾值(分辨率)1×10-5g偏值（K0）＜4mg偏值（K0）溫漂＜40μg/℃偏值（K0）年穩(wěn)定性1mg標(biāo)度因數(shù)（K1）1.2～1.46mA/g 。此石英撓性加速度計(jì)的使用場景、飛機(jī)、艦艇、戰(zhàn)車、水下等制導(dǎo)系統(tǒng)必須要有速度和位置信息，在要求低的場合人們使用空速度計(jì)、馬赫數(shù)傳感器、里程計(jì)等。石英撓性加速度計(jì)是目前慣性技術(shù)領(lǐng)域中應(yīng)用廣、發(fā)展快的慣性器件。在工作環(huán)境溫度恒定條件下，石英撓性加速度計(jì)測量精度較高。但由于結(jié)構(gòu)不完善，當(dāng)工作環(huán)境溫度變化或者自身工作發(fā)熱時(shí)將導(dǎo)致其零偏和刻度因數(shù)不穩(wěn)定，進(jìn)而影響慣導(dǎo)系統(tǒng)精度。針對(duì)溫度變化影響石英撓性加速度計(jì)測量精度問題，國內(nèi)外眾多學(xué)者從控制工作環(huán)境溫度、進(jìn)行溫度補(bǔ)償及改善工藝技術(shù)等方面已作了大量的研究，但對(duì)于石英撓性加速度計(jì)熱-結(jié)構(gòu)變形的研究還不夠深入。

單軸石英撓性加速度計(jì)是測量線加速度的高精度傳感器,在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。然而石英撓性加速度計(jì)在使用時(shí)容易導(dǎo)致石英擺片撓性梁的斷裂,磁感應(yīng)強(qiáng)度容易受時(shí)間、溫度等環(huán)境因素的影響導(dǎo)致測量產(chǎn)生不穩(wěn)定性現(xiàn)象。石英撓性加速度計(jì)抗振性能良好，其測角精度為角秒級(jí)。主要用于石油鉆井的隨鉆測斜系統(tǒng)和連續(xù)測斜系統(tǒng)中，并可廣泛用于其它工作環(huán)境惡劣的系統(tǒng)中。石英撓性加速度計(jì)高精度，用于各種物體的姿態(tài)測量和導(dǎo)航。