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激光干涉儀的類型有哪些？

您知道激光干涉儀的類型有哪些嗎？

1、單頻激光干涉儀

從激光器發(fā)出的光束，經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當(dāng)可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉(zhuǎn)換元件和電子線路等轉(zhuǎn)換為電脈沖信號，經(jīng)放大后輸入可逆計數(shù)器計算出總脈沖數(shù)，再由電子計算機按計算式式中λ為激光波長(N 為電脈沖總數(shù))，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩(wěn)定狀態(tài)，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結(jié)果。但氮化硅在鋼材表面掃描時卻具有很顯著的磨擦磨損特性，因此其應(yīng)用限制在鋁質(zhì)工件上。

測針補償

三坐標經(jīng)由測頭（硬質(zhì)測頭或電子式觸發(fā)測頭）來觸測零件以取得并收集測量數(shù)據(jù)，因為測針是利用測針球的圓周來觸測工件，所以觸測零件時測針球的球心點及測針的半徑必須事先計算出來，此測針校驗動作就是先用測針去觸測標準球，當(dāng)測針校驗過后（測量軟件已得知測針的球心位置跟半徑尺寸），當(dāng)測針接觸到零件時，三坐標測量機控制柜接受的坐標值應(yīng)是紅寶石球頭中心點坐標，顯然，測量軟件將自動沿著測針從接觸點回退的方向加上一個紅寶石球半徑作為測量值。紅寶石測球的表面極為光滑，具有極高的抗壓強度和很高的機械耐磨性能。

講解球桿儀測試球桿儀測試之所以廣受歡迎，緣于測試本身簡單易行、使用便捷，而且能夠生成大量的定量信息。

測試原理是什么？理論上，如果在數(shù)控機床上編程跟蹤圓軌跡而且機器定位性能為理想狀態(tài)，則實際圓會與設(shè)定圓吻合。在實踐中，機床幾何尺寸中的很多因素、控制系統(tǒng)及磨損都可能造成測試圓半徑及其形狀偏離設(shè)定圓。

如果您能測量實際的圓軌跡，并將其與設(shè)定軌跡進行比較，則將獲得機床精度的總體評估。這是包括球桿儀系統(tǒng)在內(nèi)的所有球桿儀的測試基礎(chǔ)。

講解球桿儀測試

數(shù)據(jù)采集：220° “部分圓弧”測試在QC20-W推出之前，垂直于標準XY測試平面的平面測試需使用特殊的測試座和重新定位中心座?，F(xiàn)在您可以在無需移動中心座的情況下對互相垂直的三個平面進行測試。

秘訣在于QC20-W系統(tǒng)在兩個平面執(zhí)行部分圓弧 (220°) 的能力。此功能可以生成該圓弧的修正測試分析，但仍然為該測試生成總體圓度值。