您好,歡迎來(lái)到易龍商務(wù)網(wǎng)!
發(fā)布時(shí)間:2020-12-21 20:52  
【廣告】






刻蝕機(jī)目前國(guó)際上主要的供應(yīng)商為應(yīng)用材料、LamResearch等。中國(guó)方面技術(shù)有慢慢追上的趨勢(shì),即將登錄科創(chuàng)板的中微半導(dǎo)體,其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電(2330-TW)驗(yàn)證,將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線。而北方華創(chuàng)則是在14nm技術(shù)有所突破。市場(chǎng)預(yù)估今明兩年中國(guó)刻蝕機(jī)需求分別達(dá)15億美元與20億美元。 拋光:可以使晶圓表面達(dá)到性的平坦化,以利后續(xù)薄膜沉積工序。美國(guó)應(yīng)用材料、Rtec等均為國(guó)際上主要供應(yīng)商,中國(guó)則有中電科裝備、盛美半導(dǎo)體等。但陸廠的產(chǎn)品才剛打入8寸晶圓廠中,12寸的相關(guān)設(shè)備還在研發(fā),明顯與國(guó)際大廠有實(shí)力上的差距。市場(chǎng)預(yù)計(jì)今明兩年中國(guó)拋光機(jī)需求將達(dá)3.77億美元與5.11億美元。
水平連續(xù)電解蝕刻機(jī),針對(duì)不銹鋼、鋁及鋁合金、鋼鐵等金屬材質(zhì)之板材或帶材進(jìn)行水平連續(xù)電解蝕刻加工,與傳統(tǒng)三氯化鐵化學(xué)蝕刻機(jī)相比,淘汰了污染的三氯化鐵等化學(xué)蝕刻液,環(huán)保性是其突出的優(yōu)越點(diǎn);加工質(zhì)量與效果比傳統(tǒng)化學(xué)的更白更細(xì)膩;加工成本比傳統(tǒng)化學(xué)低些。LE60 機(jī)型適合于600mm寬度發(fā)下的小尺寸板帶的加工,比如不銹鋼、鋁等等標(biāo)牌加工等。我司同時(shí)提供成套的前后工藝裝備。