潔凈室(區(qū))內設置真空泵時,應符合下列規(guī)定

潔凈室（區(qū)）內設置真空泵時，應符合下列規(guī)定：1．電子工廠裝修對于傳輸、自燃化學品或高濃度氧氣的真空泵，應采用不燃泵油，并應配置氮氣吹掃。氮氣吹掃控制閥應與生產工藝設備操作系統(tǒng)聯(lián)鎖。2．對傳輸含有可燃氣體的真空泵，可燃氣體濃度超過下限的20%時，應設尾氣處理裝置，在排入排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分。3．使用油潤滑的真空泵應設置除油裝置，除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng)。

潔凈區(qū)內各潔凈室的門,考慮到維持室內壓力狀況的需要

潔凈區(qū)內各潔凈室的門，考慮到維持室內壓力狀況的需要，其開設方向要朝向壓力大的房間，因為要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全疏散的要求相反。為了考慮平時潔凈和緊急疏散時的兩方面要求，規(guī)定潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的門、潔凈區(qū)與室外的門作為安全疏散門對待，其開啟方向一律朝向疏散方向，當然，單設的安全門也是如此。潔凈室的建筑裝飾工程主要是指除主體結構和外門外窗之外的包括地面與樓面裝飾工程。

如果選擇集中式潔凈空調系統(tǒng),空氣處理設備

如果選擇集中式潔凈空調系統(tǒng)，空氣處理設備集中在機房內，通過輸送管把處理后的空氣分配給末端裝置，再送到實驗室內，以不同換氣次數(shù)和氣流形式來實現(xiàn)潔凈等級參數(shù)的綜合控制。其特點是處理空氣量大，便于參數(shù)控制，是實驗室裝修在潔凈工程方面的方式。如果選擇分散式潔凈空調系統(tǒng)，會在實驗室有潔凈需求的區(qū)域配置單獨的空調處理系統(tǒng)，在出風口處通過過濾器進行空氣處理，然后分配給末端裝置，從而實現(xiàn)潔凈等級參數(shù)的綜合控制。通常來說，此方式適合局部有潔凈需求的實驗室。