千級(jí)無(wú)塵車(chē)間與萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的區(qū)別主要是潔凈度不同。潔凈室不同，換氣次數(shù)就不同，換氣次數(shù)不同，灰塵顆粒容量不一樣，過(guò)濾塵埃粒子就不同，風(fēng)量、設(shè)備、造價(jià)就不同。千級(jí)無(wú)塵車(chē)間級(jí)別比萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間高，因此造價(jià)也高。

千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的濕度要求是55±5%，千級(jí)無(wú)塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬(wàn)個(gè)。

萬(wàn)級(jí)是指：一立方英尺內(nèi)不超過(guò)10000顆粒徑為0.5微米的塵埃。萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間要求大或等于0.5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)350000個(gè)，大或等于5微米的粒子數(shù)不得超過(guò)2000個(gè)。

萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季20~22℃;夏季 24~26℃;波動(dòng)±2℃。冬季潔凈室濕度控制在30-50%，夏季潔凈室濕度控制在50-70%。

靜電是凈化車(chē)間難控制的因素之一

靜電是凈化車(chē)間難控制的因素之一，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設(shè)備的可靠性。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，所有的制造階段都需要防止靜電對(duì)器件的作用。

　　消除靜電的方法很多，對(duì)有防靜電環(huán)境要求的凈化車(chē)間工程，常用以下幾種方法：

選用合適的材料：

　　凈化車(chē)間裝修要采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時(shí)，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體。導(dǎo)體是電流能通過(guò)的材料，絕緣體是電流不能通過(guò)的材料。

電子潔凈廠(chǎng)房在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中

電子潔凈廠(chǎng)房

　　在應(yīng)用潔凈室技術(shù)的相關(guān)行業(yè)中，電子行業(yè)對(duì)潔凈及相關(guān)受控環(huán)境依賴(lài)性大，潔凈技術(shù)在電子行業(yè)應(yīng)用約占整個(gè)潔凈行業(yè)市場(chǎng)的67%。在我國(guó)，電子行業(yè)每年花費(fèi)在潔凈室方面的費(fèi)用約為50億元，其中，以集成電路芯片生產(chǎn)線(xiàn)為代表的微電子行業(yè)每年約30億元。另外，平板顯示(FPD)產(chǎn)業(yè)作為支撐我國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)持續(xù)發(fā)展的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)，也是潔凈室相關(guān)供應(yīng)商的重要用戶(hù)。據(jù)調(diào)查，世界上面積潔凈室即應(yīng)用于平板顯示行業(yè)，一個(gè)單體的潔凈廠(chǎng)房面積可容納32架飛機(jī)。