工件變形小。一般來說，被處理的工件在爐內靠熱輻射加熱，內外溫差較小，熱應力小，因此決定了真空熱處理工藝處理的零件變形小，一起在真空下加熱和在真空下淬火，主動完成，避免了熱態(tài)下工件在空氣中的搬運，削減了人為加工變形，提高了產品合格率。

可削減工件含金元素揮發(fā)性。真空熱處理能在可控氣氛下加熱和真空淬火，從而削減了工件含金元素揮發(fā)性，保證了工件的熱處理質量。

熱處理的節(jié)能潛力很大，如何采取措施來加強節(jié)能是擺在每一位熱處理工作者面前的重要課題。目前熱處理節(jié)能的措施主要有以下十一種：7、離子化學熱處理　　它是一種在低于一個大氣壓的含有欲滲元素的氣相介質中，利用工件（陰極） 和陽極之間產生輝光放電同時滲入欲滲元素的化學熱處理工藝。如離子滲氮、 離子滲碳、離子滲硫等，具有滲速快、質量好、節(jié)能等優(yōu)點。


熱處理的節(jié)能潛力很大，如何采取措施來加強節(jié)能是擺在每一位熱處理工作者面前的重要課題。目前熱處理節(jié)能的措施主要有以下十一種：8、采用感應自行回火　　采用感應自行回火代替爐中回火，由于是利用感應加熱將熱量傳到淬火層以外，淬火冷卻時未全部帶走殘留下來的熱量而實現(xiàn)短時間回火，因而具有有效節(jié)能，并在許多情況下（如對高碳鋼及高碳高合金鋼）可避免淬火開裂，同時一經確定各工藝參數(shù)可大批量生產等優(yōu)點，經濟效益顯著。