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發(fā)布時(shí)間:2020-11-04 04:59  
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光刻膠市場(chǎng)
全球光刻膠市場(chǎng)擴(kuò)增,對(duì)光刻膠的總需求不斷提升。據(jù)估計(jì),2015年國(guó)際光刻膠市場(chǎng)達(dá)73.6億美元,其中PCB光刻膠占比24.5%,LCD光刻膠占26.6%,半導(dǎo)體光刻膠占比24.1%。過(guò)去由于我國(guó)在開(kāi)始規(guī)劃發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)上,布局不合理、不完整,特別是生產(chǎn)加工環(huán)節(jié)的投資,而忽視了重要的基礎(chǔ)材料、裝備與應(yīng)用研究。2010年到2015年期間,國(guó)際光刻膠市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)率約為5.8%;據(jù)中國(guó)產(chǎn)業(yè)信息網(wǎng)數(shù)據(jù),2015年,PCB光刻膠、LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠的國(guó)際市場(chǎng)增速均在5%左右。在下游產(chǎn)業(yè)的帶動(dòng)下,江瀚咨詢預(yù)計(jì)國(guó)際光刻膠市場(chǎng)規(guī)模在2022年可能突破100億美元。
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光刻膠底膜處理:清洗:清潔干燥,使硅片與光刻膠良好的接觸。因此,通過(guò)調(diào)整光刻膠的配方,滿足差異化的應(yīng)用需求,是光刻膠制造商最核心的技術(shù)。烘干:去除襯底表面的水汽,使其徹底干燥,增粘處理(涂底): 涂上增加光刻膠與硅片表面附著能力的化合物,HMDS,光刻膠疏水,Sio2 空氣中,Si-OH, 表面有,親水性,使用HMDS (H2C)6Si2NH 涂覆,熏蒸 與 SI –OH結(jié)合形成Si-O-Si(CH2)2,與光刻膠相親。
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5,顯影液
在已經(jīng)曝光的硅襯底膠面噴淋顯影液,或?qū)⑵浣菰陲@影液中,正膠是曝光區(qū)、而負(fù)膠是非曝光區(qū)的膠膜溶入顯影液,膠膜中的潛影顯現(xiàn)出來(lái),形成三維圖像。
顯影完成后通常進(jìn)行工藝線的顯影檢驗(yàn),通常是在顯微鏡下觀察顯影效果,顯影是否徹底、光刻膠圖形是否完好。
影響顯影的效果主要因素:
1,曝光時(shí)間,2前烘溫度和時(shí)間,3光刻膠膜厚,4顯影液濃度溫度,5顯影液的攪動(dòng)情況。