真空滲氛時(shí)，將真空爐排氣至較高真空度0.133Pa后，將工件升至，530～560℃，同時(shí)送入氨氣或NH3 CXHY N2O復(fù)合氣體，并對(duì)各種氣體的送入量進(jìn)行精準(zhǔn)控制，爐壓控制在0.667Pa，低壓狀態(tài)能加快工件表面的氣體交換,活躍的N元素來自化學(xué)反應(yīng)及NH3，保溫3～5h后，用爐內(nèi)惰性氣體進(jìn)行快速冷卻。不同的材質(zhì)，經(jīng)此處理后可得到滲層深為20～80μm、硬度為600～1500HV的硬化層。


目前，對(duì)深冷升、降溫速度主要有兩種觀點(diǎn)。一種觀點(diǎn)認(rèn)為深冷的升降溫速度不能太快，即不贊成將工件直接浸入液氮中，因?yàn)榧だ鋵?dǎo)致工件內(nèi)部的應(yīng)力增大，易造成工件的變形或開裂。如日本的“深冷急熱法”，工件淬火后不馬上進(jìn)行冷處理，而是先放入水浴，再放入處理槽中在-80℃或-180℃下進(jìn)行冷處理，保溫一段時(shí)間后立即放人60C熱水浴中，使試樣快速回溫以減小內(nèi)應(yīng)力，然后選用不同溫度回火1h。


深冷處理設(shè)備主要由液氮罐、液氮傳輸系統(tǒng)、深冷箱及控制系統(tǒng)組成。應(yīng)用中，深冷處理采用多次重復(fù)進(jìn)行。典型的工藝如：1120℃油淬 -196℃×1h(2-4)次深冷處理 200℃×2h.回火處理。處理后的組織出現(xiàn)了奧氏體轉(zhuǎn)變，還從淬火馬氏體中析出高度彌散的與基體保持共格關(guān)系的超細(xì)碳化物，經(jīng)隨后的200℃低溫回火后，超細(xì)碳化物長(zhǎng)大彌散分布的碳化物，其數(shù)量和彌散度明顯增大。

一、溫度的測(cè)量與控制，工業(yè)上實(shí)際應(yīng)用的熱處理工藝形式非常多，但是它們的基本過程都是熱作用過程，都是由加熱、保溫和冷卻三個(gè)階段組成的。整個(gè)工藝過程都可以用加熱速度、加熱溫度、保溫時(shí)間、冷卻速度以及熱處理周期等幾個(gè)參數(shù)來描述。在熱處理工藝中，要用到各種加熱爐，金屬熱處理便在這些加熱爐中進(jìn)行（如基本熱處理中的退火、淬火、回火、化學(xué)熱處理的滲碳、滲氨、滲鋁、滲鉻或去氫、去氧等等）。因此，加熱爐內(nèi)的溫度測(cè)量就成為熱處理的重要工藝參數(shù)測(cè)量。每一種熱處理工藝規(guī)范中，溫度是很重要的內(nèi)容。如果溫度測(cè)量不準(zhǔn)確，熱處理工藝規(guī)范就得不到正確的執(zhí)行，以至造成產(chǎn)品質(zhì)量下降甚至報(bào)廢。溫度的測(cè)量與控制是熱處理工藝的關(guān)鍵，也是影響變形的關(guān)鍵因素。