種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室車(chē)間設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用，對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈車(chē)間則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造無(wú)塵車(chē)間大面積高等級(jí)的要求，但運(yùn)行成本較高，并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難，系統(tǒng)升級(jí)改造困難，因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低，而且操作靈活性很高，可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整，這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求，因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為很主要的凈化設(shè)計(jì)方案。

不產(chǎn)生：不在潔凈車(chē)間產(chǎn)生任何灰塵。

　　遵循這個(gè)原則，潔凈車(chē)間設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)注意如下幾個(gè)方面：

　　1、 不采用易產(chǎn)塵、易吸附塵土的地面、四壁、天花板的裝飾材料。

　　2、不使用容易產(chǎn)生灰塵的材料與設(shè)備。

　　3、 在許多的潔凈車(chē)間內(nèi)，人都是很大的污染源。嚴(yán)格潔凈車(chē)間的管理，控制人員數(shù)量，避免不必要的移動(dòng)，人員應(yīng)穿潔凈服。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設(shè)備安裝專(zhuān)業(yè)公司。

工程的規(guī)劃首先要加強(qiáng)對(duì)設(shè)計(jì)單位設(shè)計(jì)凈化工程圖紙質(zhì)量的外部監(jiān)督與審查。充分發(fā)揮潔凈室圖紙審查中心的職能作用，像工程質(zhì)監(jiān)站監(jiān)督施工質(zhì)量一樣，審查、監(jiān)督設(shè)計(jì)質(zhì)量。潔凈工程圖紙的質(zhì)量高低是關(guān)系到此潔凈工程的建造成本控制等一系列凈化工程重要控制目標(biāo)能否達(dá)成之物。制訂設(shè)計(jì)獎(jiǎng)懲制度。搭接處的縫隙有別于固定縫隙，因活動(dòng)扇需要開(kāi)啟而木能采取“一勞永逸”的封固措施。設(shè)計(jì)圖紙被審查中心確認(rèn)為設(shè)計(jì)的應(yīng)給設(shè)計(jì)單位以特殊榮譽(yù)，對(duì)設(shè)計(jì)人員實(shí)施獎(jiǎng)勵(lì)。

百級(jí)潔凈室規(guī)劃裝修參數(shù)規(guī)范：

　　1. 潔凈度：粒徑≥0.1微米的塵土粒子數(shù)量需求小于100個(gè)。

　　2. 壓差及溫濕度：溫度22℃±2;濕度55%±5;根本房間要滿布ffu，做高架地板。做MAU ffu DC系統(tǒng)。還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度確保在10pa左右。

　　3. 照度：由于無(wú)塵潔凈室的工作內(nèi)容大多有精細(xì)的要求，而且又都是密閉性房子，所以，對(duì)照明一向有很高的要求。