手機納米膜真空設備系統(tǒng)的簡單介紹

　　(1)主泵：在真空系統(tǒng)中，用于獲得所需要真空度來滿足特定工藝要求的真空泵，如真空鍍膜機中的油擴散泵就是主泵。

　　(2)前級泵：用于維持某一真空泵前級壓強低于其臨界前級壓強的真空泵。如羅茨泵前配置的旋片或滑閥泵就是前級泵。

　　(3)粗抽泵：從大氣壓下開始抽氣，并將系統(tǒng)壓力抽到另一真空泵開始工作的真空泵。如真空鍍膜機中的滑閥泵，就是粗油泵。

電子產(chǎn)品體積越來越小，越來越復雜，Parylene共形涂敷能夠提供超薄無防護來保證元件的可靠性和使用壽命。

橡膠/硅樹脂主要作用：干式潤滑，隔離，不互相沾黏、不沾纖維和污垢，無印記，無表面損傷 Parylene 能夠保護產(chǎn)品免受油、污垢和污染物的影響，提高潤滑性。涂敷防止彈性體元件中副產(chǎn)品溶出并保護產(chǎn)品表面不受和無機試劑、酸和溶液的影響。

器材作用：防銹、防腐、防霉、防過敏、潤滑

Parylene是一種具有化學惰性又有良好的生物相容性高純涂層材料，已經(jīng)通過美國FDA認可，用于各類體內(nèi)植入，經(jīng)它涂敷的器件可改善表面潤滑型、生物相容性、提高可靠性。Parylene的生物兼容性及其生物穩(wěn)定性使其能夠提供良好的防潮、防化學和介電保護。工件架與地之間的絕緣必須須良好，負偏壓電源與工件架的接觸點點必須接觸良好。涂敷薄膜的摩擦系數(shù)低，因而可以應用于需要潤滑的地方。

真空鍍膜加工清除鍍膜室內(nèi)的灰塵，設置清潔度高的工 作間，保持室內(nèi)高度清潔是鍍膜工藝對環(huán)境的基本要求?？諝鉂穸却蟮牡貐^(qū)，除鍍前要對基片、真空室內(nèi)各部 件認真清洗外，還要進行烘烤除氣。（4）電子槍蒸發(fā)鍍膜機使用時的束斑直徑、電功率、加束電壓、掃描軌跡、頻率等參數(shù)都容易實現(xiàn)調(diào)節(jié)。要防止油帶入真空室內(nèi)，注意油擴散泵返油，對加熱功率高的擴散泵必須 采取擋油措施。

真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍的產(chǎn)品品質(zhì)。加工件進入鍍膜室前一定要做到認真的鍍前清潔處理，表面污染來自工件在加工、傳輸、包裝過程所粘附的各種粉塵、潤滑油、 機油、拋光膏、油脂、汗?jié)n等物，