潔凈室的無論在外部大氣條件下，其可以全部具有室維持原設(shè)定的潔凈度要求，溫度，濕度和壓力的性能特性的變化。潔凈室的主要作用是控制所述植物材料（如硅芯片等）的溫度和潔凈空氣的濕度以與氣體的接觸生存，所以該植物原料可以在工廠，制造，潔凈室的空間中一個(gè)良好的環(huán)境也是我們所說的潔凈室。凈化車間靜電式凈化方式的缺點(diǎn):可去除飄塵(不能去除氣體)，效能比機(jī)械式低，慢，而且易產(chǎn)生臭氧，此機(jī)型被美國市場評(píng)為差凈化器。負(fù)離子法 羥基負(fù)離子與空氣中漂浮的有害氣體接觸后，能還原來自大氣的污染物質(zhì)、氮氧化物、等產(chǎn)生的活性氧(氧自由基)、減少過多活性氧對(duì)人體的危害;中和帶正電的空氣飄塵無電荷后沉降。

半導(dǎo)體、集成電路生產(chǎn)的無塵車間要求

半導(dǎo)體材料提純作為發(fā)展半導(dǎo)體器件的重要基礎(chǔ)。由于大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的工藝要求，為得到高純度的硅材料，原料和中間媒介的高純度和生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度成為影響產(chǎn)品質(zhì)量的一個(gè)突出問題。集成電路芯片的成品率與芯片的缺陷密度有關(guān)，而芯片的缺陷密度與空氣中粒子個(gè)數(shù)有關(guān)。因此，集成電路的高速發(fā)展，不僅對(duì)空氣中控制粒子的尺寸有極高的要求，而且也需進(jìn)一步控制粒子數(shù)；同時(shí)，對(duì)于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)環(huán)境的化學(xué)污染控制也有相關(guān)的要求。

凈化車間設(shè)計(jì)要點(diǎn)

設(shè)計(jì)方案。要確定凈化車間設(shè)計(jì)方案，必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮。發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。

潔凈度與換氣次數(shù)。房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù)，因此凈化車間設(shè)計(jì)要點(diǎn)需慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工藝要求，再?zèng)Q定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。