特種氣體的應用

電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。高純氣體的輸送管路系統(tǒng)隨著微電子工業(yè)的發(fā)展，超大規(guī)模集成電路制造的硅片尺寸越做越大，要求半導體制造工藝中的氣體品質(zhì)相應越來越高，對氣體中雜質(zhì)和露1點要求極為嚴格，需要達到ppb、ppt級，塵埃粒徑求控制小于0。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

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特氣系統(tǒng)知識分享：標準氣體

所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調(diào)整零位用標準氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標準氣、工業(yè)分析用標準氣體、醫(yī)1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。氣體管路控制系統(tǒng)作用主要由氣源切換系統(tǒng)、管道系統(tǒng)、調(diào)壓系統(tǒng)、用氣點、監(jiān)控及報警系統(tǒng)組成。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。

標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領(lǐng)域?qū)藴蕷怏w的需求量相對較大。

特種氣體鋼瓶在運輸和儲存的注意事項

由于特種氣體產(chǎn)品的潛在危險性，如氧氣遇油脂著火，氣瓶倒下使閥門拆斷引起飛瓶，惰性氣體引起窒息等等。所以在氣體使用、搬運及儲存中應注意的一些安全事項。

氣體鋼瓶在運輸和裝卸過程中應輕裝輕卸，嚴禁拋、滑、滾及劇烈碰撞。              

使用氣體前應按要求將合格的減壓閥連接到氣瓶上，并清潔連接軟管。不同氣體的氣瓶使用時不要使用同一個減壓閥。

不應在封閉空間內(nèi)用惰性氣體（如氮氣、二氧化碳等）進行實驗分析、燒焊、低溫冷藏、吹除等等。  

燒焊時，應對氣體及電氣采取適當?shù)谋Ｗo措施。不要使用損壞的設(shè)備，如軟管、電纜及焊槍等。              

特種氣體氣瓶存放區(qū)應比較干燥，并有良好通風，嚴禁明火和其它熱源，嚴禁曝曬可燃氣瓶或氧氣瓶附近嚴禁吸煙，氣瓶不應接觸到火花、火焰、熱氣及電路。

在儲存、運輸及使用杜瓦罐時不能使其臥倒，應永遠使杜瓦罐保持直立狀態(tài)。