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發(fā)布時(shí)間:2020-08-07 12:18  

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本實(shí)施方式中,邊緣曝光裝置20架設(shè)于基板輸送機(jī)構(gòu)50上,且包括邊緣曝光機(jī)21、CXD影像處理器22及驅(qū)動(dòng)裝置23。邊緣曝光機(jī)21與基板S的邊緣對(duì)齊設(shè)置。CXD影像處理器22與邊緣曝光機(jī)21連接,例如固定于邊緣曝光機(jī)21的前端,用于擷取基板S和邊緣曝光機(jī)的邊緣的影像,并通過(guò)該影像測(cè)定基板S的偏移量。驅(qū)動(dòng)裝置23與邊緣曝光機(jī)21和CXD影像處理器22連接,驅(qū)動(dòng)裝置23根據(jù)基板S的偏移量驅(qū)動(dòng)邊緣曝光機(jī)20移動(dòng),以補(bǔ)償偏移量。該基板的偏移量是指基板S的邊緣相對(duì)于邊緣曝光機(jī)21的偏移量。


在蝕刻多層板內(nèi)層這樣的薄層壓板時(shí),板子容易卷繞在滾輪和傳送輪上而造成廢品。所以,蝕刻內(nèi)層板的設(shè)備必須保證能平穩(wěn)的,可靠地處理薄的層壓板。許多設(shè)備制造商在蝕刻機(jī)上附加齒輪或滾輪來(lái)防止這類(lèi)現(xiàn)象的發(fā)生。更好的方法是采用附加的左右搖擺的聚四氟乙烯涂包線(xiàn)作為薄層壓板傳送的支撐物。對(duì)于薄銅箔(例如1/2或1/4盎司)的蝕刻,必須保證不被擦傷或劃傷。薄銅箔經(jīng)不住像蝕刻1盎司銅箔時(shí)的機(jī)械上的弊端,有時(shí)較劇烈的振顫都有可能劃傷銅箔。


酸洗通常都是采用一個(gè)酸洗槽和其配套的水洗槽進(jìn)行浸泡式酸洗,也有采用由噴射式或超聲波水洗組成的聯(lián)合清洗系統(tǒng),使用這種聯(lián)合清洗系統(tǒng)可以將復(fù)雜的工件表面清洗干凈,還可以使操作時(shí)間縮短,特別是合理的水清洗系統(tǒng)更可以做到將清洗徹底的前提下的減少用水量,從而減少?gòu)U水處理系統(tǒng)的負(fù)荷和成本。在清洗之后資料也需求停止吹干,然后廠(chǎng)家將會(huì)選用合適資料的辦法來(lái)去除維護(hù)涂層,然后就可以停止一步,外表精飾。