真空蒸鍍基本原理：在真空條件下，使金屬、金屬合金等蒸發(fā)，然后沉積在基體表面上，蒸發(fā)的方法常用電阻加熱，電子東轟擊鍍料，使蒸發(fā)成氣相，然后沉積在基體表面，歷，真空蒸鍍是PVD法中使用早的技術。

       濺射鍍膜基本原理：充(Ar)氣的真空條件下，使氣進行輝光放電，這時(Ar)原子電離成氮離子(Ar)，離子在電場力的作用下，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會被濺射出來而沉積到工件表面。濺射鍍膜中的入射離子，一般采用輝光放電獲得，在10-2pa~10Pa范圍，所以濺射出來的粒子在飛向基體過程中，易和真空室中的氣體分子發(fā)生碰撞，使運動方向隨機，沉積的膜易于均勻。

1、納米涂層可以涂刷在各種金屬或是其他長時間需要耐磨的基體上，其優(yōu)異的性能可防止金屬間磨損、擦傷及燒結(jié)，有效保護易磨損部位和提高設備運轉(zhuǎn)周期。

2、納米涂層硬度高，可達8H，摩擦系數(shù)低可低至0.06一0.08，而且涂層致密光滑，附著力好，保護基材不被接觸粉料、物料顆粒物磨損損耗，長期保護基體。另外，還可以耐疲勞磨損、耐沖蝕磨損、耐磨粒磨損、耐粘著磨損。

3、納米涂層厚度很薄，不影響零件的尺寸和機械強度，且能根據(jù)使用條件的要求膜厚的厚度，確保材料的原性能和耐磨質(zhì)量。

       困擾聽障人士的，莫過于助聽器的日常護理工作，助聽器怕臟怕潮濕，而且助聽器內(nèi)的電子元件小型化，抗干擾，等要求，更需要適應各種惡劣的工作環(huán)境。隨著防水、防潮、防塵技術的不斷發(fā)展，派瑞林（Parylene）真空納米鍍膜技術在提升助聽防護領域得到了很好的應用。

       派瑞林涂層作為一種新型的三防材料，存在環(huán)保wu毒無氣味不污染環(huán)境的先天優(yōu)勢，通過氣相沉積CVD的方式形成一種致密的防護膜，從而對被涂敷的產(chǎn)品起到防潮防鹽霧防霉菌的三防效果。

1、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于磁性材料領域，派瑞林的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合，使它能對小型超小型磁材進行無薄弱點全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國際上小型或者超小型磁材，幾乎都采用派瑞林鍍膜工藝作絕緣和防護涂層。

2、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于印制電路組件和元器件領域，鍍膜材料通過派瑞林真空鍍膜設備使得活性的對二雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態(tài)的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個細小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬的高純聚合物。

3、派瑞林真空鍍膜設備有效應用于微電子集成電路領域，派瑞林的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)派瑞林（Parylene）涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。