真空泵轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的振動(dòng)機(jī)理

  理論研究和試驗(yàn)表明，轉(zhuǎn)子與精致件發(fā)生軸向摩擦?xí)r，真空泵轉(zhuǎn)子的振動(dòng)特征幾乎與正常狀況一致，沒有明顯的異常特征，所以診斷軸向摩擦?xí)r，不能用波形、軸心軌跡和頻譜方法去識(shí)別，必須尋求新的銘感參數(shù)。

  真空泵軸向干摩擦力與旋轉(zhuǎn)速度有關(guān)，由于軸向干摩擦的作用使基頻影響相對下降，同時(shí)有高頻成分出現(xiàn)，所以軸向干摩擦具有阻尼的特性。軸向干摩擦力的打小正比于轉(zhuǎn)子與靜止間的干摩擦因數(shù)和軸向力。軸向干摩擦阻尼遠(yuǎn)大于徑向摩擦

阻尼，由于軸向干摩擦?xí)鹣到y(tǒng)阻尼的顯著增加，因此系統(tǒng)阻尼的變化可作為軸向摩擦的識(shí)別特征。

  另外，摩擦?xí)斐沙晒纳仙托氏陆?，同時(shí)局部會(huì)有溫升，因此工藝參數(shù)對轉(zhuǎn)子與靜止件軸向摩擦的故障診斷非常重要

概述

EH 機(jī)械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎(chǔ)，仍是受歡迎的泵，可用于壓力范圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應(yīng)用場合。此泵必須始終由另一個(gè)提供相對于大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機(jī)械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會(huì)暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性制程介質(zhì)下，因此高度可靠。

應(yīng)用

半導(dǎo)體制程、真空蒸餾、真空包裝、鋼脫氣、薄膜覆層、真空冶金、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、油干燥和脫氣、制藥冷凍干燥、CO2 激光

功能和優(yōu)勢

適用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力范圍下、需要超過 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的應(yīng)用場合。

它可在相對較低的壓力環(huán)境下表現(xiàn)出更高的可靠性。

EH 泵具有高質(zhì)量的無油泵送機(jī)械裝置。這可提供：

安靜的無振動(dòng)運(yùn)行。

牢靠且防腐蝕。

先進(jìn)的軸封技術(shù)，處理艙中不會(huì)出現(xiàn)油污染

防腐型泵送機(jī)械裝置采用高等級鑄鐵制造。

經(jīng)驗(yàn)證的軸封布置可確保沒有油進(jìn)入泵送定子，并且由于不需要可能腐蝕或黏著的內(nèi)部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護(hù)要求降到低。

軸封的設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，可確保潤滑劑無法進(jìn)入泵送機(jī)械裝置中。這可在需要高標(biāo)準(zhǔn)清潔程度的應(yīng)用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子葉和端面上堆積吸入的微粒。

動(dòng)態(tài)平衡的轉(zhuǎn)子和精密研磨齒輪有助于實(shí)現(xiàn)泵的平穩(wěn)、運(yùn)行噪音小，而這些特點(diǎn)正是先進(jìn)技術(shù)設(shè)備的制造商所需要的。

訂購信息

Edwards真空泵 EH4200 羅茨真空泵 愛德華羅茨泵 機(jī)械增壓泵

EH4200 Industrial

●EH4200IND 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30975946

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW NRC215000

●EH4200IND 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30976982

●EH4200IND 200 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp NRB988000

EH4200 PFPE*

●EH4200FX 220-240 V or 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW On application

●EH4200FX 208-230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp On application

EH4200 Chemical**

●EH4200C 230 V or 460 V, 3-ph, 60 Hz, 15 hp A30956982

●EH4200T3 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30941935

●EH4200T160 380-415 V, 3-ph, 50 Hz, 11 kW A30979900

真空泵泵體振動(dòng)大時(shí)，與其相連的進(jìn)排氣管線振動(dòng)也較大，基礎(chǔ)及底座振動(dòng)不大，可以排除基礎(chǔ)固定松動(dòng)等原因，主要原因出于上海真空泵泵體本身。

(1)閥片斷裂：當(dāng)閥片斷裂時(shí)，上海真空泵泵體振動(dòng)厲害，噪音很大，一般表現(xiàn)為軸向振動(dòng)較大。

上海真空泵

(2)轉(zhuǎn)子葉片結(jié)垢：葉片結(jié)垢后，造成轉(zhuǎn)子質(zhì)量不平衡，旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生振動(dòng)。此種因素一般影響較小。

(3)上海真空泵聯(lián)軸器橡膠墊損壞：橡膠緩沖墊損壞甚至被磨成粉末甩出，造成聯(lián)軸器的兩個(gè)對輪副直接碰磨，加劇轉(zhuǎn)子振動(dòng)。工作中一定要使用質(zhì)量好的緩沖墊并經(jīng)常檢查。

真空泵泵體振動(dòng)大的原因有哪些?

水環(huán)變化：若水環(huán)內(nèi)徑變大(供水不足所致)，則葉片頂端將與水環(huán)內(nèi)壁發(fā)生碰撞，產(chǎn)生振動(dòng)。若水環(huán)內(nèi)徑變小(供水過量所致)，其對葉輪的擾流及阻力損失增加，引發(fā)振動(dòng)，同時(shí)增加泵的功耗。上海真空泵工作中，一定要保證合適的工作水供水量，若進(jìn)水管發(fā)生結(jié)垢及堵塞現(xiàn)象。只憑進(jìn)水壓力不能準(zhǔn)確衡量進(jìn)水供應(yīng)情況，一般可通過觀察上海真空泵的排水量來判斷水環(huán)的工作情況。EUV平版印刷泵送解決方案多重圖案形成技術(shù)有其存在的價(jià)值，但以后可能需要使用EUV平版印刷，因?yàn)檩p型EUV系統(tǒng)提供極短的波長。