FE3000反射式膜厚量測儀：原理為：利用單色儀和氙燈的組合可實(shí)現(xiàn)任意波段的激發(fā)光并以此來照射熒光材料樣品，再以光譜儀對(duì)產(chǎn)生的發(fā)光光譜進(jìn)行測試并對(duì)其熒光材料特性做出評(píng)價(jià)。本系統(tǒng)采用了具有高靈敏度、高穩(wěn)定的本公司的光譜儀對(duì)光譜進(jìn)行測量。

應(yīng)用范圍■ FPD

?LCD、TFT、OLED(有機(jī)EL)

■ 半導(dǎo)體、復(fù)合半導(dǎo)體

?矽半導(dǎo)體、半導(dǎo)體雷射、強(qiáng)誘電、介電常數(shù)材料

■ 資料儲(chǔ)存

?DVD、磁頭薄膜、磁性材料

■ 光學(xué)材料

?濾光片、抗反射膜

■ 平面顯示器

?液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED

■ 薄膜

?AR膜

■ 其它

?建筑用材料

FE3000反射式膜厚量測儀:主要測試項(xiàng)目：量子效率測定，量子效率的激發(fā)波長依賴特性，發(fā)光光譜、反射光譜測定，透過、吸收光譜測量，PL激發(fā)光譜，顏色演算（色度、色溫、演色性等）利用二次激發(fā)熒光校正功能去除再激發(fā)熒光發(fā)光。

解析非線性i小二乘法/波峰波谷解析法/FFT解析法/適化法

基板解析/里面反射補(bǔ)正/各類nk解析模型式

絕i對(duì)反射率/解析結(jié)果Fitting/折射率n的波長相關(guān)性/消光系數(shù)k的波長相關(guān)性

3D顯示功能（面內(nèi)膜厚分布、鳥窺圖、等高線、斷面圖）

本儀器是一套使用積分半球?qū)Ρ∧顦悠坊蚍蹱钗飿悠愤M(jìn)行量子效率測試的系統(tǒng)。

半積分球。大塚電子獨(dú)有專利，提高積分球測試效率一倍，更易于樣品的裝夾，切換迅速（世界范圍內(nèi)獨(dú)i家）；(2)多次激發(fā)修正。大塚電子獨(dú)有專利，i大程度降低樣品所反射的激發(fā)光再次照射樣品帶來的多次激發(fā), 對(duì)粉末和固體測試精度提高明顯（世界范圍內(nèi)獨(dú)i家）；(3)光譜可擴(kuò)展, 光譜探測范圍可擴(kuò)展至1700nm甚至2550nm.(4) 可以升級(jí)配備控溫系統(tǒng)（-30℃-300℃）

不銹鋼樣品池及石英材質(zhì)光學(xué)窗口，光學(xué)透過率大于98%，全波段無熒光反應(yīng)，用于固體、粉末及薄膜樣品測試（數(shù)量5個(gè)），尺寸直徑≤10mm

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