氫氣檢漏法的主要設備

(1)檢漏儀：采用上述工作原理制造的專用氫氣檢漏儀，由于氫氣的上述性質(zhì)，其靈敏度可以達到與氦檢相同水平。

(2)示蹤氣體充注控制器：對于批量生產(chǎn)的用戶，采用示蹤氣體充注控制器進行抽真空/充氣/排氣操作，可以完成對檢測管道的充氣和排氣過程自動化控制。

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氫氣檢漏法的優(yōu)勢

制冷、空調(diào)行業(yè)檢漏技術的現(xiàn)狀：在產(chǎn)品部件生產(chǎn)過程中，目前常使用氦檢漏技術來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。同時，由于氫氣在一般環(huán)境中的含量濃度都非常低，所以不會因本底污染而導致誤報警。產(chǎn)品裝配完成并充入制冷劑之后，可能在出廠前還會使用鹵素檢漏儀對整個產(chǎn)品再進行一次檢漏。由于保壓測試和水浴法只能檢出10-3mbar·l/s左右的泄漏，因此長期以來，氦檢漏技術是制冷、空調(diào)行業(yè)中的檢小漏的手段，吸槍式氦檢漏技術一般可以檢出10-7mbar·l/s左右的泄漏。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機材料常常會吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來;所有的氦氣檢漏儀器機構的離子收集板，對氦氣都會產(chǎn)生記憶效應，即氦離子打到離子收集板上，并儲存一定時間，然后再慢慢釋放出來，從而造成本底的噪音等問題。

無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領域內(nèi)得到了廣泛使用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理制成的磁偏轉型的質(zhì)譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質(zhì)譜檢漏儀器。與氦氣相比，使用低密度的安全氫氣作為檢漏用的示蹤氣體具有很多優(yōu)勢。其價格非常低廉，很容易在各個氣體供應商處購得?，F(xiàn)今的氫氮混合氣檢漏技術可以檢出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相當于0.1g/y，其氣體使用成本僅是氦氣的1/10到1/20，同時氦氣檢漏法要增加一些輔助設備，如氦氣回收系統(tǒng)等。

真空檢漏

超聲波法

該方法實際上是聽音法的一種。氫的分子量與氦氣相近，是所有化學元素中分子量最輕的元素，有很好的擴散性，逃逸性很強，吸附及粘滯性很低。它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測出泄漏。檢測時，可以直接使用超聲波檢測器，根據(jù)檢測儀表指針是否擺動，確定有無泄漏。也可以采用使超聲波回到可聽頻率范圍內(nèi)鳴笛的方法。采用后一種原理制造的超聲波轉換器不僅在被試驗物加壓時可以使用，在抽真空時，由于吸入的空氣發(fā)出超聲波，因而，采用真空法時也可以使用。

超聲波轉換器由于只檢測超聲波部分，在普通工廠的噪音條件下，不受明顯干擾，因此檢漏效果很好。

該法的靈敏度與被試驗物體的加壓、減壓狀況、泄漏的大小、泄漏點與檢漏器（探頭）間的距離等因素有關。當泄漏點與探頭距離很近時，超聲波轉換器的靈敏度可達1′10-2cm3/s。

檢漏時將檢漏器的靈敏度調(diào)到較大，一邊移動探頭，一邊偵聽，使能聽到的超聲波發(fā)出的聲音達到較大。真空設備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。然后，再尋找發(fā)出超聲波的位置，以便確定泄漏點。但在探頭不易接近的地方出現(xiàn)泄漏時，就很準確地判斷出泄漏點。這種方法操作簡便，人為因素較小，不同檢測人員所得到的檢測結果基本相同。

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真空設備檢漏與維修

為什么要檢漏

泄漏和密封相對應

很多情況下，我們需要密封住一定的空間，防止氣體或液體在壓力的作用下，流進或流出這個空間?；竟ぷ髟硎鞘褂脤ｉT開發(fā)的氫氣傳感器，它只對氫氣有響應信號，而對其他氣體沒有響應，屬于唯1性檢漏性檢漏方法。如真空設備（真空鍍膜機，液晶注入機，PVD，半導體外延等等），需要在真空條件下工作，要求在工作時，空氣不能漏進工作腔體，否則生產(chǎn)不能進行，或者產(chǎn)生次品，浪費人力物力。另外裝液體或氣體的容器（液壓氣瓶，氧氣瓶，空調(diào)冰箱中的雪種容器等等），要求在容器內(nèi)外存在壓差的情況下，不能有氣體或液體漏出。如果有漏，后果嚴重，一般會造成有效物資的浪費，如有毒物資、腐蝕性氣體漏出，甚至會釀成事故。

這些對密封性有要求的產(chǎn)品或設備，在投入使用前，就要先進行檢漏，使用中也要定期進行檢漏檢查。

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