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發(fā)布時(shí)間：2020-11-04 07:06
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廣州帕納光電科技有限公司----高真空渦輪分子泵維修；
極限真空能滿足分子泵的前級(jí)耐壓需求，且干式無(wú)油不會(huì)影響真空背景環(huán)境，無(wú)需換油，維護(hù)成本低。無(wú)油隔膜前級(jí)泵，適配于多種分子泵， 隔膜泵更是能實(shí)現(xiàn)馬達(dá)轉(zhuǎn)速自動(dòng)優(yōu)化，不僅干式無(wú)油無(wú)污染，噪音低，而且節(jié)能省耗，維護(hù)成本低。同時(shí)，高真空渦輪分子泵維修無(wú)油隔膜泵也適用于所有粗真空應(yīng)用，尤其是在耐化學(xué)腐蝕方面性能突出，表現(xiàn)優(yōu)異！我們?yōu)榇藢ｉT制造的樣泵多達(dá)1000余臺(tái)，對(duì)各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行了廣泛測(cè)試和分析。
泵不排液，灌泵不足（或泵內(nèi)氣體未排完）處理方法：重新灌泵；
泵轉(zhuǎn)向不對(duì)
處理方法：檢查旋轉(zhuǎn)方向；
泵轉(zhuǎn)速太低
處理方法：檢查轉(zhuǎn)速，提高轉(zhuǎn)速；
濾網(wǎng)堵塞，底閥不靈
處理方法：檢查濾網(wǎng)，消除雜物；
吸上高度太高，或吸液槽出現(xiàn)真空
處理方法：減低吸上高度；檢查吸液槽壓力。
廣州帕納光電科技有限公司----高真空渦輪分子泵維修；
分子泵在半導(dǎo)體機(jī)械設(shè)備中的運(yùn)用
在半導(dǎo)體材料生產(chǎn)加工加工工藝中，分子泵廣泛運(yùn)用于光刻技術(shù)、塑料薄膜堆積機(jī)器設(shè)備、離子注入機(jī)器設(shè)備、離子注入機(jī)等主要設(shè)備。高真空渦輪分子泵維修
光刻技術(shù)是生產(chǎn)制造規(guī)模性集成電路芯片的關(guān)鍵機(jī)器設(shè)備，生產(chǎn)制造和維護(hù)保養(yǎng)必須高寬比的電子光學(xué)和電子工業(yè)基本，全世界僅有數(shù)生產(chǎn)廠家把握，因而光刻機(jī)價(jià)格價(jià)格昂貴。原因：防護(hù)網(wǎng)，前級(jí)管道解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道。光刻技術(shù)光刻技術(shù)全過(guò)程務(wù)必在高真空中完成，緣故是極紫外線很嬌氣，在空氣中非常容易耗損。另外，在光刻技術(shù)全過(guò)程中，機(jī)器設(shè)備的姿勢(shì)時(shí)間誤差以皮秒激光計(jì)，這對(duì)磁懸浮分子泵的震動(dòng)值規(guī)定極高。（注：皮秒激光=兆分之一秒）高真空渦輪分子泵維修
有安全防護(hù)網(wǎng)維護(hù),為何還會(huì)繼續(xù)有塊狀玻璃渣落入泵內(nèi)?
緣故：安全防護(hù)網(wǎng)裂開(kāi)，前面管路裂開(kāi)。
解決方案:優(yōu)化軟件設(shè)計(jì)方案。高真空渦輪分子泵維修
真空值非常好的狀況下，分子泵油為什么會(huì)退到前面管路?
緣故：油池裂開(kāi)或密封性欠佳。
解決方案：查驗(yàn)油池。高真空渦輪分子泵維修
