液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低,當(dāng)溫度降至2

液態(tài)氦氣沸點(diǎn)極低，當(dāng)溫度降至2.178K時(shí)，就轉(zhuǎn)變?yōu)橐环N粘度接近于零的具有流動(dòng)性的液氦，此時(shí)的液態(tài)氦氣被稱為超流體。液態(tài)氦氣已實(shí)際應(yīng)用在許多晶圓處理程序步驟中，它可在高壓氣相化學(xué)沉積(HP-CVD)以及蝕刻程序上作為晶背冷卻之用，并且它也可用作為攜載氣體應(yīng)用在CVD以沉積抗反射層、氧氮化合物及其它薄膜用。

標(biāo)準(zhǔn)氣體引氣體工業(yè)名詞

標(biāo)準(zhǔn)氣體引氣體工業(yè)名詞，標(biāo)準(zhǔn)氣體屬于標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是高度均勻的，良好穩(wěn)定和量值準(zhǔn)確的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)，它們具有復(fù)現(xiàn)，保存和傳遞量值的基本作用，在物理，化學(xué)，生物與工程測(cè)量領(lǐng)域中用于校準(zhǔn)測(cè)量?jī)x器和測(cè)量過程，評(píng)價(jià)測(cè)量方法的準(zhǔn)確度和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室的檢測(cè)能力，確定材料或產(chǎn)品的特性量值，進(jìn)行量值仲裁等。混合氣體是指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規(guī)定限量的氣體。

配氣用的柱射器必須氣密性好,死體積小,制度準(zhǔn)確

配氣用的柱射器必須氣密性好，死體積小，制度準(zhǔn)確。配氣前放一小片聚四氟乙烯薄片，以備攪拌用。柱射器配氣法雖然簡(jiǎn)便易行，配制某些標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí)濃度也很準(zhǔn)確，但是，由于受柱射器內(nèi)壁吸附、死體積大和液體揮發(fā)不完全等因素的影響，配制的氣體濃度誤差較大，許多有機(jī)化合物的標(biāo)準(zhǔn)氣體都不宜用該法配制。用揮發(fā)性液體配氣時(shí)，尤其要經(jīng)過驗(yàn)證合格后才能用柱射器配氣。