2017年，我國工業(yè)新舊動能轉(zhuǎn)換成效初顯，工業(yè)生產(chǎn)超預(yù)期回升、產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級、企業(yè)效益明顯改善。2018年，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)加速東移，中國電子特種氣體產(chǎn)業(yè)迎來歷史機遇期。氣體工業(yè)是國民經(jīng)濟基礎(chǔ)工業(yè)之一，覆蓋社會生產(chǎn)的各個領(lǐng)域，受益于國民生活，牽動著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。但加入的H2含量（體積分?jǐn)?shù))必須低于6％，否則會導(dǎo)致產(chǎn)生氫氣孔。特種氣體是泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制造的關(guān)鍵電子材料，直接關(guān)系到我國民經(jīng)濟發(fā)展和國家戰(zhàn)略安全。根據(jù)氣體圈子2017年統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，政府各部門多次出臺特種氣體鼓勵政策。2017年5月2日，科技部印發(fā)《“十三五”先進制造技術(shù)領(lǐng)域科技專項規(guī)劃》中關(guān)鍵材料部分提到面向45-28-14納米集成電路工藝，重點研發(fā)包括超高純電子氣體和其他關(guān)鍵材料產(chǎn)品。6月16日，特種氣體入選國家《重點新材料首批次應(yīng)用指導(dǎo)目錄（2017年版）》。9月12日，保監(jiān)會決定建立新材料首批次應(yīng)用保險補償機制并開展試點工作。將《重點新材料首批次應(yīng)用指導(dǎo)目錄》生產(chǎn)首批次新材料的企業(yè)作為保險補償政策的支持對象。原則上政府補貼的責(zé)任限額不超過合同金額的5倍、且不超過5億元，投保費率不超過3%。

標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性

標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性是配制和使用過程中的關(guān)鍵問題。裝入高壓鋼瓶中的標(biāo)準(zhǔn)氣體理論上在保存和使用過程中其濃度值不應(yīng)發(fā)生變化。但對裝有氣體的容器進行加熱時，其溫度不得超過40℃，一般使用40℃以下的溫水或用溫水浸過的毛巾來加熱。但實際上，標(biāo)準(zhǔn)氣體中的組分氣體或不純物與容器內(nèi)壁接觸時往往引起吸附、解吸、化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象而使其濃度值隨時間發(fā)生變化，濃度越低、組成成分越復(fù)雜時這種變化越大。因此，標(biāo)準(zhǔn)氣體的穩(wěn)定性在很大程度上與容器的材料物性、容器內(nèi)壁的預(yù)處理情況和氣體本身的化學(xué)特性有著密切的關(guān)系。

標(biāo)準(zhǔn)氣體的使用注意事項

1、可燃氣體的燃爆限，從安全的角度出發(fā)，在制備標(biāo)準(zhǔn)氣體之前，必須對標(biāo)準(zhǔn)氣體混合的可行性進行研究。特別要考慮各組分氣體的燃爆極限，在制備由可燃氣體和氫氣（或氧氣）組成的標(biāo)準(zhǔn)氣體時，要注意組分氣體含量是否超過燃爆限的問題。瑞士聯(lián)邦理工學(xué)院(EcolePolytechniqueFederaledeLausanne(EPFL))的化學(xué)工程師證明，原子級的石墨烯膜能夠有效地分離氣體混合物。否則在制備過程中，可能發(fā)生燃爆事故。燃爆限是可燃性氣體的重要技術(shù)數(shù)據(jù)。在配制含有可燃氣體組分的標(biāo)準(zhǔn)氣體前，必須了解該組分的燃爆限，以確保安全。

2、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能，要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能，考虎是否會產(chǎn)生冷凝作用、標(biāo)準(zhǔn)氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應(yīng)等。