OLED有機無機聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)介紹

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OLED有機無機聯(lián)合蒸發(fā)系統(tǒng)的用途 ：

適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等，可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作，也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗工作。Parylene在傳感器領(lǐng)域中的應(yīng)用，除了作絕緣介質(zhì)外，更多用作防護材料，它能耐酸、堿和溶劑，對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有較好的阻隔防護能力，用極薄的涂層提供良好的防護。與手套箱聯(lián)合系統(tǒng)的用戶群體為科研院所及實驗室，將真空蒸發(fā)系統(tǒng)工作室置于Glove box無水、無氧、無塵的超純環(huán)境中，PVD與Glove box硬件無縫對接，操控融合一體，廣泛應(yīng)用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領(lǐng)域

ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機

ZF300熱蒸發(fā)鍍膜機是專為科研院所及實驗室用戶群體設(shè)計開發(fā)的一款小型高真空蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)。采用大抽速分子泵準(zhǔn)無油高真空系統(tǒng)，機架電控一體化設(shè)計，整體布局緊湊合理，充分考慮人機工程學(xué)的傾斜操控面板和可直觀觀察蒸發(fā)狀態(tài)的真空室結(jié)構(gòu)。兩組/三組蒸發(fā)源可兼容金屬、有機物蒸發(fā)。廣泛應(yīng)用于高校、科研院所制備功能薄膜、蒸鍍電極、掃描電鏡制樣等，特別適合太陽能電池、有機EL、LED顯示管研究與開發(fā)領(lǐng)域。0×10Pa無機蒸發(fā)室：經(jīng)烘烤6小時左右，并連續(xù)抽氣真空優(yōu)于6。

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