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發(fā)布時間:2020-10-20 05:37  

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使用顯微光譜法在微小區(qū)域內通過絕i對反射率進行測量,可進行高i精度膜厚度/光學常數(shù)分析。

可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數(shù)的軟件


 膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長度)的膜層為薄膜,其厚度遠大于入射光波波長的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導薄膜等在工業(yè)生產和人類生活中的不斷應用,在工業(yè)生產的薄膜,其厚度是一個非常重要的參數(shù),直接關系到該薄膜材料能否正常工作。

膜厚測試儀的預熱   關機超過3個小時開機必做。點擊“波數(shù)”,將波譜校準片放入儀器,將Ag部分移至十字線中間,鐳射聚焦,設定測量時間為6S重復測量次數(shù)為30~50次,點擊Go鍵,等待自動連續(xù)測量完成。