地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或耐磨塑料地板，有防靜電要求的，要選用防靜電型。送回風(fēng)管道一般用鍍鋅鋼板，不宜選用玻璃棉類材料保溫。照明應(yīng)選用凈化車間燈具。而隨著凈化技術(shù)的發(fā)展，建設(shè)凈化車間的技術(shù)含量也越來(lái)越高，非專業(yè)人士不能也。除了在生產(chǎn)領(lǐng)域，凈化工程技術(shù)還會(huì)逐漸應(yīng)用于家庭、公共場(chǎng)合，為人們提供更潔凈的生活空間1級(jí)：塵埃易使芯片失效或者穩(wěn)定性下降，當(dāng)金屬塵埃落于集成電路上時(shí)，就可能造成短路。當(dāng)空氣中的酸性離子落在電路上時(shí)，可能將電路腐蝕，因此凈化空調(diào)系統(tǒng)對(duì)微電子工業(yè)而言至關(guān)重要。此外，液晶、光纖的生產(chǎn)也需要1級(jí)潔凈度的要求。

凈化工程的一般施工程序：粉塵作業(yè)，無(wú)塵作業(yè)后，不允許交叉作業(yè)。 否則會(huì)影響項(xiàng)目的質(zhì)量。 也就是說(shuō)，在完成所有粉塵產(chǎn)生操作之后，可以進(jìn)行無(wú)塵操作。凈化工程的步的關(guān)鍵是設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)水平的好與壞將直接關(guān)系到整個(gè)工程之后的施工，還會(huì)影響凈化工程今后的穩(wěn)定性、可靠性、經(jīng)濟(jì)性。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。

10級(jí)：主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)。其空氣凈化要求僅次于1級(jí)，并且我國(guó)半導(dǎo)體技術(shù)也在發(fā)展之中，在未來(lái)對(duì)潔凈度的要求更加高。一般潔凈室高度控制在2.60米，對(duì)個(gè)別較高的設(shè)備可在局部加高，而不宜提高潔凈區(qū)的高度。凈化工程在設(shè)計(jì)時(shí)，無(wú)論是新建還是重新改造的凈化車間，都一定依照國(guó)家相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范進(jìn)行。