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發(fā)布時間:2020-12-05 10:28  
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光刻膠的概述
光刻膠也稱為光致抗蝕劑,是一種光敏材料,它受到光照后特性會發(fā)生改變。光刻膠主要用來將光刻掩膜版上的圖形轉移到晶圓片上。
光刻膠有正膠和負膠之分。正膠經(jīng)過曝光后,受到光照的部分變得容易溶解,經(jīng)過顯影后被溶解,只留下未受光照的部分形成圖形;而負膠卻恰恰相反,經(jīng)過曝光后,受到光照的部分會變得不易溶解,經(jīng)過顯影后,留下光照部分形成圖形。
負膠在光刻工藝上應用早,其工藝成本低、產(chǎn)量高,但由于它吸收顯影液后會膨脹,導致其分辨率(即光刻工藝中所能形成圖形)不如正膠,因此對于亞微米甚至更小尺寸的加工技術,主要使用正膠作為光刻膠。
光刻膠相關信息
賽米萊德——專業(yè)光刻膠供應商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
光刻膠是印刷線路板、顯示面板、集成電路等電子元器件的上游。光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋范圍非常廣,上游為基礎化工材料行業(yè)、精細化學品行業(yè),中游為光刻膠制備,下游為電子加工廠商、各電子器產(chǎn)品應用終端。由于上游產(chǎn)品直接影響下游企業(yè)的產(chǎn)品質量,下業(yè)企業(yè)對公司產(chǎn)品的質量和供貨能力十分重視,常采用認證采購的模式,進入壁壘較高。
在下游半導體、LCD、PCB等行業(yè)需求持續(xù)擴大的拉動下,光刻膠市場將持續(xù)擴大。2018年全球光刻膠市場規(guī)模為85億美元,2014-2018年復合增速約5%。據(jù)IHS,未來光刻膠復合增速有望維持5%。按照下游應用來看,目前半導體光刻膠占比24.1%,LCD 光刻膠占比26.6%,PCB 光刻膠占比24.5%,其他類光刻膠占比24.8%。
硅片模具加工如何選擇光刻膠呢?
注意事項:
①若腐蝕液為堿性,則不宜用正性光刻膠;
②看光刻機型式,若是投影方式,用常規(guī)負膠時氮氣環(huán)境可能會有些問題
③負性膠價格成本低,正性膠較貴;
④工藝方面:負性膠能很好地獲得單根線,而正性膠可獲得孤立的洞和槽;
⑤健康方面:負性膠為有機溶液處理,不利于環(huán)境;正性膠屬于水溶液,對健康、環(huán)境無害。
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光刻膠的組成
光刻膠一般由4種成分組成:樹脂型聚合物、光活性物質、溶劑和添加劑。樹脂是光刻膠中占比較大的組分,構成光刻膠的基本骨架,主要決定曝光后光刻膠的基本性能,包括硬度、柔韌性、附著力、耐腐蝕性、熱穩(wěn)定性等。光活性物質是光刻膠的關鍵組分,對光刻膠的感光度、分辨率等其決定性作用。
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