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發(fā)布時間:2021-01-14 06:34  

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靶材輸入電流及濺射時間可以控制,容易得到高精度的膜厚。較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。濺射粒子幾不受重力影響,靶材與基板位置可自由安排?;迮c膜的附著強度是一般蒸鍍膜的10倍以上,且由于濺射粒子帶有高能量,在成膜面會繼續(xù)表面擴散而得到硬且致密的薄膜,同時此高能量使基板只要較低的溫度即可得到結(jié)晶膜。薄膜形成初期成核密度高,可生產(chǎn)10nm以下的極薄連續(xù)膜。靶材的壽命長,可長時間自動化連續(xù)生產(chǎn)。靶材可制作成各種形狀,配合機臺的特殊設(shè)計做更好的控制及比較有效率的生產(chǎn)。


磁控濺射真空鍍膜機導(dǎo)致不均的因素哪些?專業(yè)從事這方面工作的朋友其實還是比較的了解的,它主要可以分為以下幾個因素就是:真空狀態(tài)、磁場、亞氣。

磁場是正交運作的,但你要將磁場強度做到一定均勻是不可能的,一般磁場強的地方,成膜厚度就大,相反就小,所以會造成膜層厚度的不一致,不過在生產(chǎn)過程中,由于磁場的不均勻?qū)е碌哪硬痪鶆虻那闆r卻不是常見的,為什么呢?



真空電鍍的做法也是相當(dāng)復(fù)雜,一般是在素材上先噴一層底漆,再做電鍍.由于素材是塑料件,在注塑時會殘留空氣泡,有機氣體,而在放置時會吸入空氣中的水分.另外,由于塑料表面不夠平整,直接電鍍的工件表面不光滑,光澤低,金屬感差,并且會出現(xiàn)氣泡,水泡等不良狀況.噴上一層底漆以后,會形成一個光滑平整的表面,并且杜絕了塑料本身存在的氣泡水泡的產(chǎn)生,使得電鍍的效果得以展現(xiàn)。