潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。

具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過(guò)25度。

潔凈室檢測(cè)之靜電檢測(cè)與驗(yàn)收

測(cè)試目的  

靜電問(wèn)題不是只有半導(dǎo)體業(yè)才有，其它行業(yè)也有類似問(wèn)題。微小物質(zhì)上若是含有靜電，就會(huì)變成非常難處理的問(wèn)題，因?yàn)閭鬏斪兊暮懿蝗菀?。另外在無(wú)塵室里面，若是物體表面帶有靜電，就很容易吸引灰塵造成污染。靜電測(cè)試的目地是測(cè)量空氣中正離子與負(fù)離子的含量，依此數(shù)據(jù)可仿1真物體在該氣流場(chǎng)中之殘余表面電壓。  

空氣潔凈技術(shù)（又稱潔凈技術(shù)或潔凈室技術(shù)）

是指以控制室內(nèi)空氣中懸浮顆粒物濃度為目標(biāo)的相關(guān)技術(shù)，懸浮顆粒物的濃度用單位體積空氣中大于等于某一粒徑顆粒物的允許數(shù)量來(lái)表示，通常也稱為空氣的潔凈度，并以此來(lái)劃分潔凈度等級(jí)或級(jí)別。潔凈室的分類按潔凈室主要控制對(duì)象劃分潔凈室又可劃分為：工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室主要的控制對(duì)象是灰塵粒子（不分有生命的、無(wú)生命的）,某些工藝過(guò)程還要求控制分子態(tài)污染物AMC。