六氟化硫氣體之所以有比較好的絕緣性能，是因為六氟化硫氣體具有負電性，就是說六氟化硫分子能夠吸附氣體中的自由電子，而變成負離子，這種負離子的質(zhì)量遠遠大于自由電子的質(zhì)量，因此運動速度大大降低，此外，間隙中自由電子的數(shù)量減少了，就難以形成擊穿通道。所以其絕緣性能比較好。另外，這種負電性在高溫下，也就是在滅弧時也是十分有利的。

60年代中期起，SF6被廣泛用作高壓電氣設(shè)備的絕緣介質(zhì)。SF6氣體絕緣的全封閉開關(guān)設(shè)備比常規(guī)的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環(huán)境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統(tǒng)，而且已開始用于配電網(wǎng)絡(luò)(SF6氣體絕緣的開關(guān)柜和環(huán)網(wǎng)供電單元)。SF6氣體絕緣的管道輸電線的優(yōu)點是介質(zhì)損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場合，因此常用于水電站出線，取代常規(guī)的充油電纜。




直接電解法　將硫、、一氯化硫、或等加入到無水中，以鎳為陽極進行電解即可制得六氟化硫。用與無水氫氟酸電解時，以鎳作極，鐵作陰極，溫度為－10～20℃，電壓為7～20V。電解產(chǎn)物應(yīng)除去雜質(zhì);催化氧化法　金屬氧化物為催化劑，于300℃下，用空氣氧化，該法缺點是收率過低。熱解法，在500～2000℃使SF4熱解，但該法的轉(zhuǎn)換率及收率皆低，采用微波放電分解SF4亦可。