照‖明‖方‖式 透射照明 采用透過(guò)輪廓光觀察的方法，特別是觀察測(cè)量輪廓時(shí)使用，邊緣清晰易于觀察。 反射照明 綜合放大倍率 綜合放大倍率=目鏡倍率 x 物鏡倍率。 例：使用10x目鏡和100x物鏡組合時(shí)，觀察像的綜合放大倍率=10 x 100=1000x。 視場(chǎng)數(shù)F.N 指目鏡能否在廣視野下進(jìn)行觀察的指標(biāo)。F.N=Field Number 裝配1x物鏡時(shí)，通過(guò)目鏡觀察到的像的直徑為24mm 實(shí)視場(chǎng) FOV 指通過(guò)目鏡觀察時(shí)實(shí)際觀察和觀察工件的實(shí)際范圍。FOV：Field Of View 透過(guò)物鏡與成像鏡頭的光在分劃板上（成像鏡頭焦點(diǎn)位置）成像， 觀察被目鏡放大后的像。

電子顯微鏡的成像方式是根據(jù)電子光學(xué)原理,用電子束和電子透鏡代

電子顯微鏡的成像方式是根據(jù)電子光學(xué)原理，用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡，使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器。 透射電鏡通常采用熱陰極電子槍來(lái)獲得電子束作為照明源，熱陰極發(fā)射的電子，在陽(yáng)極加速電壓的作用下，高速地穿過(guò)陽(yáng)極孔，然后被聚光鏡會(huì)聚成具有一定直徑的束斑照到樣品上。 透過(guò)樣品的電子束強(qiáng)度，經(jīng)過(guò)物鏡聚焦放大在其平面上形成一幅反映這些信息的透射電子像，經(jīng)過(guò)中間鏡和投影鏡進(jìn)一步放大。

SEM的優(yōu)點(diǎn)是,1有較高的放大倍數(shù),2

SEM的優(yōu)點(diǎn)是，①有較高的放大倍數(shù)，2-20萬(wàn)倍之間連續(xù)可調(diào)；②有很大的景深，視野大，成像富有立體感，可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu)；③試樣制備簡(jiǎn)單，導(dǎo)電樣品可以直接觀察。如果是非導(dǎo)電樣品則需要覆上導(dǎo)電層 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置，這樣可以同時(shí)進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析，因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究?jī)x器。