干式螺桿真空泵，是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點。⑸泵的前級壓強真空泵的前級壓強單位是Pa，它是指排氣壓強低于一個大氣壓的真空泵的出口壓強。它是傳統(tǒng)真空泵的更新換代產品，未來具有極大的市場前景。

真空泵的極限壓強

真空泵的極限壓強單位是Pa，是指泵 在入口處裝有標準試驗罩 并按規(guī)定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩(wěn)定的壓強。

檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發(fā)生反應，泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。

隨著真空應用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數百萬升。隨著真空技術在生產和科學研究領域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產和科學研究過程的要求

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，這些泵是我國國民經濟各行業(yè)應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。