無(wú)塵車(chē)間的污染源應(yīng)該怎么樣控制

     無(wú)塵車(chē)間潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的 軟件——管理制度來(lái)搭配，方能維持良好的潔凈度。

無(wú)塵車(chē)間內(nèi)之污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約 80%，作業(yè)人員進(jìn)出無(wú)塵車(chē)間時(shí)無(wú)塵車(chē)間的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。

     外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、以及一般性氣體如 N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括生產(chǎn)設(shè)備、工作人員、工具、加工制造、隔間材料、工作臺(tái)、 包裝材料等。所無(wú)塵布廠家以無(wú)塵車(chē)間工作不但要使用無(wú)塵材料，如無(wú)塵布，無(wú)塵服等，還要加強(qiáng)對(duì)進(jìn)出人員的管理，方能發(fā)揮無(wú)塵車(chē)間應(yīng)有的作用。

湖州無(wú)塵車(chē)間的平面布局

  無(wú)塵車(chē)間一般包括無(wú)塵區(qū)、準(zhǔn)無(wú)塵區(qū)和輔佐區(qū)三部分。無(wú)塵車(chē)間的平面安置能夠有以下幾種方法：

   外廊盤(pán)繞式：外廊能夠有窗和無(wú)窗，兼作觀賞和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)直勤采暖。外窗有必要是雙層密封窗。

   內(nèi)廊式：無(wú)塵車(chē)間設(shè)在外圍，而走廊設(shè)在內(nèi)部，這種走廊的無(wú)塵度等級(jí)一般都較高，乃至和無(wú)塵車(chē)間同級(jí)。

   兩頭式：無(wú)塵區(qū)設(shè)在一邊，另一邊設(shè)準(zhǔn)無(wú)塵和輔佐用房。

   中心式：為了節(jié)省用地、縮短管線，能夠無(wú)塵區(qū)為中心，上下左右被各種輔佐用房和蔭蔽管道的空間包圍起來(lái)，這種方法避開(kāi)室外氣候?qū)o(wú)塵區(qū)的影響，削減了冷熱能耗，利于節(jié)能。

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       每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的1級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于1級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。5μm及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱(chēng)的1K級(jí)別。

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、氣流速度及其均勻度檢測(cè)，這項(xiàng)檢測(cè)是凈化車(chē)間效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流凈化車(chē)間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。

3、室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。

4、自?xún)魰r(shí)間的檢測(cè)。通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測(cè)。

6、噪聲的檢測(cè)。

7、照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明凈化車(chē)間各表明的振動(dòng)幅度。

9、溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)凈化車(chē)間的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)凈化車(chē)間中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測(cè)。