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高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應劑;干法氧化;與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;在冶金工業(yè)中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。它比其他燃料更便宜。

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氧氣（oxygen）是氧元素形成的一種單質，化學式O2，其化學性質比較活潑，與大部分的元素都能與氧氣反應。常溫下不是很活潑，與許多物質都不易作用。但在高溫下則很活潑，能與多種元素直接化合，這與氧原子的電負性僅次于氟有關。

在金屬的切割和焊接中是用純度93.5%~99.2%的氧氣與可燃氣（如）混合，產(chǎn)生極高溫度的火焰，從而使金屬熔融。為了強化和硫酸的生產(chǎn)過程也需要氧。

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氧氣是一種化學性質比較活潑的無色無味的氣體，它可以與金屬、非金屬、化合物等多種特物質發(fā)生氧化反應，反應劇烈程度因條件不同而異，可表現(xiàn)為緩慢氧化、燒、爆等，反應中放出大量的熱。  

由于氧氣有支持燃燒的性質，故而將帶火星的木條伸到盛氧氣的集氣瓶中，木條復燃，可確定盛有氧氣，這個現(xiàn)象用于氧氣收集驗滿操作。使用時，首先要做外部檢查，檢查重點是瓶閥、按管螺紋、減壓器等。如果發(fā)現(xiàn)有漏氣、滑扣、表針動作不靈或'爬高'等，應及時維修，切忌隨便處理。

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