廣州旗興企業(yè)--GMP車間凈化工程，潔凈實(shí)驗(yàn)室工程，恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室工程，十萬級(jí)潔凈車間工程

如何對(duì)無塵潔凈廠房的照明進(jìn)行設(shè)計(jì)？

??1 照度及照度均勻度

??根據(jù)視覺功能的研究可知，對(duì)比敏感度的變化時(shí)的照度函數(shù)，在達(dá)到某一對(duì)比敏感度值以前，增加照度對(duì)于進(jìn)步對(duì)比敏感度是很有效的。產(chǎn)業(yè)潔凈廠房為密閉車間，內(nèi)部多為無窗室(區(qū))，國際照明(CIE)《室內(nèi)照明指南》規(guī)定，無窗廠房的照度不能小于500lx。根據(jù)我國現(xiàn)有的電力水平，應(yīng)以滿足對(duì)照明的基本要求為依據(jù)，照度為150lx時(shí)基本上能滿足工人生理、心理上的要求。為進(jìn)步生產(chǎn)效率，我國GMP(1998)4條規(guī)定“主要工作室的照度宣為300lx；潔凈室空氣的主要污染源不是人，而是新型建筑裝飾材料、清潔劑、粘接劑、現(xiàn)代辦公用品等。對(duì)照度有特殊要求的生產(chǎn)部位可設(shè)置局部照明”。至于輔助工作室、走廊、氣閘室、職員凈化和物料凈化室，考慮到與生產(chǎn)車間的明暗適應(yīng)題目，規(guī)定其照度不宜低于150lx。

??照度均勻度指規(guī)定表面上的照度與均勻照度之比，照度比合適時(shí)可以減少疲憊，集中留意力，使得環(huán)顧室內(nèi)也不會(huì)有陰暗的感覺。潔凈室(區(qū))主要工作室，照明的照度均勻度規(guī)定不應(yīng)小于0.7，此值在工程設(shè)計(jì)中一般都能滿足。

??2 光源的選擇

??產(chǎn)業(yè)潔凈廠房自然透風(fēng)少，一般都在凈化區(qū)內(nèi)的房間及走廊等場(chǎng)所設(shè)置送排風(fēng)口，通過凈化空調(diào)進(jìn)行機(jī)械送排風(fēng)。風(fēng)口數(shù)目及安裝位置的增加限制了燈具的數(shù)目和燈具的安裝位置，這就要求在同樣照度條件下一定程度地減少燈具數(shù)目，宜用的光源作為凈化區(qū)(室)的光源。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的幾倍，且光源為冷光源，不易發(fā)熱，這樣既滿足對(duì)燈具的要求，又可以減少空調(diào)的能耗，符合節(jié)能要求。7、技術(shù)進(jìn)程中和空調(diào)體系的熱收回是可以直接獲益的辦法，因而應(yīng)充分利用這有些熱量，使之到達(dá)物盡其用的意圖。

??產(chǎn)業(yè)自然采光少，在工作時(shí)間中，燈具一般需要長時(shí)間處于工作狀態(tài)，這就需要工作中的光源更接近自然光源。熒光燈的光源光譜分布接近于自然光，能滿足對(duì)光源的要求。目前對(duì)照度要求較高的潔凈室(區(qū))，國內(nèi)外一般都采用熒光燈作為光源。

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在凈化工程中，進(jìn)行空氣凈化有哪些處理方案？

??凈化工程中各級(jí)空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、空氣過濾器三級(jí)過濾。100000級(jí)空氣凈化處理，可采用亞空氣過濾器代空氣過濾器。

??空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合：初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器；中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段；空氣過濾器或亞空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端，空氣過濾的安裝方式應(yīng)簡便可靠，宜檢漏和更換；中效、亞、空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用；例如，在微電子行業(yè)的芯片生產(chǎn)過程中，對(duì)微粒的控制達(dá)到分子級(jí)，否則生產(chǎn)就無法進(jìn)行，或者生產(chǎn)出次品。阻力、效率相近的空氣過濾器宜設(shè)置在同一凈化車間內(nèi)。

??確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時(shí)，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點(diǎn)和凈化車間空氣的潔凈度等級(jí)、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時(shí)，位置集中以及噪聲控制和振動(dòng)控制要求嚴(yán)格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

??凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時(shí)，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火安全措施。

??送風(fēng)機(jī)可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇，中效、空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計(jì)算。

??凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機(jī)的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。

??凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)合理利用回風(fēng)，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r(shí)，則不應(yīng)用回風(fēng)。

怎樣對(duì)無塵潔凈室中的溫濕度進(jìn)行控制？

??潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過25度，濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。隨著GMP認(rèn)證制度的推行及中國產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的升級(jí)，為潔凈室技術(shù)提供二次發(fā)展機(jī)遇。對(duì)于硅片生產(chǎn)較佳濕度范圍為35—45%。