發(fā)塵量無塵室內(nèi)的發(fā)塵量，來自設備的可考慮通過局部排風排除，不流入室內(nèi)；產(chǎn)品，材料等在運送過程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般量小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進，發(fā)塵量也不斷減少。A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。B、樣式：大掛式發(fā)塵量大，上下分裝型次之，全罩型少；C、活動：動作時的發(fā)塵量一般達到靜止時間3-7倍；D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降至用一般水清洗的五分之一。層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風，此型式適用于無塵室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其無塵室等級為Class1~100。室內(nèi)維護結(jié)構表面發(fā)塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時的表面發(fā)塵量與一個靜止的人的發(fā)塵量相當。

    無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則：禁塵、帶塵、產(chǎn)塵。5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一，是控制帶塵的好凈化設備之一，它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖，可以兼起氣閘室的作用，阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域，達到生產(chǎn)車間所要求的生產(chǎn)潔凈環(huán)境。

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     每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。除非得到管理人員的特別許可，否則，在潔凈室里，衣服口袋只能是空的。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。