真空泵的結(jié)構(gòu)

真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時(shí)為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時(shí)，排氣口可以從左或右兩個(gè)方向開(kāi)口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。高速運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。泵的兩個(gè)轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵較高且齒輪拆裝不便，潤(rùn)滑機(jī)構(gòu)也相對(duì)復(fù)雜。

真空泵選型方法

1、真空泵的極限壓力應(yīng)該滿(mǎn)足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的極限壓力低于工藝要求約一個(gè)數(shù)量級(jí)。

2、每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長(zhǎng)時(shí)間工作。

3、真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。

4、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過(guò)程及環(huán)境有無(wú)影響，若工藝過(guò)程不允許，應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。

真空泵的應(yīng)用

1、主泵。在真空系統(tǒng)中，用來(lái)獲得所要求的真空度的真空泵。

2、粗抽泵。從大氣壓開(kāi)始，降低系統(tǒng)的壓力達(dá)到另一抽氣系統(tǒng)開(kāi)始工作的真空泵，

3、前級(jí)泵用以使另一個(gè)泵的前級(jí)壓力維持在其許可的前級(jí)壓力以下的真空泵。前級(jí)泵也可以做粗抽泵使用。

4、維持泵。在真空系統(tǒng)中，當(dāng)抽氣量很小時(shí)，不能有效地利用主要前級(jí)泵，為此，在真空系統(tǒng)中配置一種容量較小的輔助前級(jí)泵，維持主泵正常工作或維持已抽空的容器所需之低壓的真空泵。

    簡(jiǎn)析真空技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展

    冶金工業(yè)：冶金工業(yè)需用到的真空技術(shù)包括鋼液真空處理、真空熔煉、真空感應(yīng)熔煉、感應(yīng)殼熔煉、真空電弧重熔等。其中，真空鋼液處理是冶金工業(yè)很重要的一方面。這項(xiàng)技術(shù)主要應(yīng)用于原子能工業(yè)，宇宙空間技術(shù)、海洋鉆探技術(shù)、燃?xì)獍l(fā)動(dòng)機(jī)技術(shù)、汽車(chē)工業(yè)、飛機(jī)制造業(yè)、高速列車(chē)等高技術(shù)工業(yè)中，對(duì)鋼中的某些元素進(jìn)行控制和處理，對(duì)鋼鐵材料的壽命、可靠性提出了越來(lái)越高的要求。目前各種應(yīng)用行業(yè)擁有現(xiàn)代化的真空處理設(shè)備，大大降低了鋼中氮、氫、氧等雜質(zhì)的含量，處理水平也不斷提高。美、日、德等國(guó)已經(jīng)將此項(xiàng)技術(shù)作為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，并對(duì)其軸承鋼、電工用鋼和大型鍛件采用１００％的真空脫氣處理，完成現(xiàn)代化鋼鐵工業(yè)的基本要求。

　　電子與微電子工業(yè)：微電子技術(shù)要求電子元器件和電路的尺寸越來(lái)越小，集成度要求越來(lái)越高。這與真空技術(shù)的應(yīng)用密不可分，特別是超大規(guī)模集成電路的微細(xì)加工技術(shù)，其幾何圖形結(jié)構(gòu)的形成、超薄層生長(zhǎng)技術(shù)、粒子束注入技術(shù)都需要高質(zhì)量、清潔的真空環(huán)境，可見(jiàn)其發(fā)展對(duì)真空技術(shù)、裝備的依存性。目前，日本真空廠(chǎng)商的銷(xiāo)售額中60%左右是面向電子工業(yè)，而當(dāng)今的超大規(guī)模集成電路大約有３／４的工序需要有真空條件。

　　機(jī)械制造行業(yè)：這是一個(gè)帶動(dòng)性強(qiáng)、帶動(dòng)作用廣的產(chǎn)業(yè)，目前歐債危機(jī)的陰霾仍未散去，各國(guó)積極將機(jī)械制造產(chǎn)業(yè)作為提振經(jīng)濟(jì)的重點(diǎn)。它的技術(shù)應(yīng)用一般集中在真空熱處理、真空釬焊、真空涂層刀具等傳統(tǒng)領(lǐng)域。真空熱處理是指將真空技術(shù)與熱處理技術(shù)緊密結(jié)合的新型熱處理技術(shù)。它對(duì)工具、模具和精密耦件的處理可起到提高使用壽命、加速化學(xué)熱處理的吸附和反應(yīng)過(guò)程等特點(diǎn)。另外，它本身工藝操作靈活、無(wú)公害的特點(diǎn)成為行業(yè)常用的處理手段。