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發(fā)布時(shí)間:2021-08-15 17:05  

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外延片的制造過程

外延片的生長(zhǎng)工藝有很多流程,需要很多高菁尖設(shè)備,生長(zhǎng)出來的外延片直接決定了 LED 的波長(zhǎng)、亮度、正向電壓等主要的光電參數(shù)。外延片的生長(zhǎng)基本原理是在一塊加熱至適當(dāng)溫度的襯底基片(主要有藍(lán)寶石、SiC 碳化硅、Si 硅)上,氣態(tài)物質(zhì) In Ga Al P(銦 家 鋁 磷) 有控制的輸送到襯底表面,生長(zhǎng)出特定單晶薄膜。

目前主要的外延片襯底材料有藍(lán)寶石、碳化硅和硅。不同的襯底材料有不同的光電特性,價(jià)格差別也很大。外延片制造過程如下:

先把晶棒切片,切片需要注意晶面的結(jié)晶方向、晶片的厚度、晶面的斜度和曲度;切片后為了防止晶片邊緣碎裂、防止熱應(yīng)力集中以及增加外延層的平坦度 需要把晶邊磨圓,然后還需要蝕刻(shí kè),蝕刻的目的在于把前面機(jī)械加工所造成的損傷給去掉,蝕刻需要用到晶片研磨機(jī);下一步需要將晶片置于爐管中施以惰性氣體加熱30分鐘至一小時(shí),再在空氣中快速冷卻,可以將所有氧雜質(zhì)去除,這樣晶片的電性(阻值)僅由載流子雜質(zhì)來控制,從而穩(wěn)定電阻,這一步需要使用到高溫快速熱處理設(shè)備;然后使用拋光機(jī)再給晶片拋光;再然后就是使用晶片清洗機(jī)來清洗晶片,用RCA溶液(雙i氧水+氨水或又氧水+鹽酸),將前面工序所形成的污染清除,蕞后在無塵環(huán)境中嚴(yán)格檢查晶片表面的潔凈度、平坦度確保符合規(guī)格要求,蕞后包裝到特殊的容器中保存。




LED的芯片數(shù)量常識(shí):

同一個(gè)LED燈,常見的是只采用一個(gè)芯片,但物殊情況下可以用兩個(gè)甚至達(dá)到四個(gè)芯片,如:一個(gè)草帽燈可以用一至兩個(gè)芯片(考慮到其體積較小,散熱不方便導(dǎo)致性能不穩(wěn)定,一般只采用一兩個(gè)芯片);一個(gè)食人魚燈可以用一,二,三,四個(gè)芯片,我司到的是一個(gè)和兩個(gè)芯片;貼片3528燈可以用一,二,三個(gè)芯片(我司常用一,二個(gè)芯片),貼片5050/5060一般用到三個(gè)芯片。特別說明:貼片燈用三個(gè)芯片時(shí),有兩種情形:

1. 三個(gè)芯片的顏色完全相同

2. 三個(gè)芯片分別是紅,綠,藍(lán)色,即我們常說的RGB燈

LED的發(fā)光角度常識(shí):

直插式LED常見的發(fā)光角度是120度,特殊的可以做到45度,或者15度。我司常用的直插式LED一般是120度,硅膠燈條采用的是45度;貼片式LED一般發(fā)光角度為120度。

LED的電壓 (voltage) 常識(shí):

單個(gè)小功率LED燈,顏色不同,其要求的電壓也不同。紅/黃:一般為1.8~2.1伏,白/綠/藍(lán):一般為3.0~3.6伏。1W大功率燈要求的電壓與以上相同。

LED的電流 (current) 常識(shí):

1. 小功率的LED燈(包括插件式或者貼片式),每個(gè)芯片上允許通過的電流一般不要高于20毫安;每個(gè)雙芯片燈上允許通過的電流一般不高于40毫安;同理每個(gè)三芯片燈不要高于60毫安。。。。

2. 大功率LED,我司已采用的是1W,其允許通過的電流為150毫安。



LED的電壓在2-9v不等,功率也有較寬的范圍,具體選用哪種LED還要看這個(gè)模組作為一個(gè)產(chǎn)品來說的技術(shù)要求。比如這個(gè)LED模組需要輸出10lm的光,外觀上看用兩顆LED比較好,就可以選擇5lm一顆的LED。結(jié)合顏色(LED電壓與顏色有關(guān))、溫度、品質(zhì)等其他因素,就可以找到一款合適產(chǎn)品的LED。LED模組可以分為直插式LED模組,食人魚LED模組,貼片LED模組。



   國(guó)家對(duì)LED產(chǎn)業(yè)的發(fā)展也給予了大力支持。2006年,根據(jù)我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀,有關(guān)部門制定半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)發(fā)展計(jì)劃和2006年技術(shù)發(fā)展路線圖提出,對(duì)于LED芯片的投資將占LED產(chǎn)業(yè)投資的20%,研究重點(diǎn)將放在GaN芯片的生產(chǎn)以及功率芯片的研發(fā)上。

   雖然擁有極大的市場(chǎng)需求并得到有關(guān)部門的大力支持,但不可否認(rèn)的是,現(xiàn)階段LED芯片產(chǎn)業(yè)仍然存在核心技術(shù)缺乏、人才短缺、產(chǎn)品質(zhì)量不高、設(shè)備自主生產(chǎn)能力弱等發(fā)展困境。如何解決上述問題是我國(guó)LED產(chǎn)業(yè)能否持續(xù)健康快速發(fā)展的關(guān)鍵。

   王瑩認(rèn)為,LED芯片產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展將助推LED產(chǎn)業(yè)整體升級(jí)。在LED芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中,早期產(chǎn)品主要以普通亮度芯片為主,生產(chǎn)廠商也只有南昌欣磊等少數(shù)幾家。2003年以后,以廈門三安、大連路美為代表的芯片生產(chǎn)企業(yè)針對(duì)芯片市場(chǎng)的需求,紛紛把產(chǎn)品重點(diǎn)集中到高亮度芯片上,直接帶動(dòng)了高亮度芯片產(chǎn)量的快速增長(zhǎng)。一時(shí)間,國(guó)內(nèi)掀起了LED芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的熱潮,高亮度芯片成為LED芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要推動(dòng)力。2006年,我國(guó)LED芯片產(chǎn)量達(dá)到309.3億個(gè),產(chǎn)值達(dá)到11.9億元。

   隨著LED芯片生產(chǎn)企業(yè)的不斷增多,LED芯片產(chǎn)值的增長(zhǎng)速度一直高于封裝環(huán)節(jié),導(dǎo)致芯片產(chǎn)值在我國(guó)LED產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值中所占比重不斷提升,由2002年的5.4%上升至2006年的11.3%。由此可見,我國(guó)LED產(chǎn)業(yè)正在由低端走向,向附加值更高、更具核心價(jià)值的芯片環(huán)節(jié)邁進(jìn)。

   據(jù)王瑩預(yù)測(cè),2008年高亮度芯片產(chǎn)量將超過普通亮度芯片,LED芯片產(chǎn)業(yè)進(jìn)入高亮度時(shí)代。在很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi),企業(yè)將會(huì)把投資重點(diǎn)放在高亮度芯片的生產(chǎn)上?! ?br />