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發(fā)布時(shí)間:2020-12-29 02:16  
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流量控制器分類
熱式質(zhì)量流量器根據(jù)熱源及測(cè)溫方式的不同可分為接觸式和非接觸式兩種。
1.接觸式熱式質(zhì)量流量器這種質(zhì)量流量計(jì)的加熱元件和測(cè)溫元件都置于被測(cè)流體的管道內(nèi),與流體直接接觸,常被稱為托馬斯流量計(jì),適于測(cè)量氣體的較大質(zhì)量流量. 由于加熱及測(cè)量元件與被測(cè)流體直接接觸,因此元件易受流體腐蝕和磨損,影響儀表的測(cè)量靈敏度和使用壽命。測(cè)量高流速、有腐蝕性的流體時(shí)不宜選用,這是接觸式的缺點(diǎn)。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。
2.非接觸式熱式質(zhì)量流量器這種流量計(jì)的加熱及測(cè)溫元件都置于流體管道外,與被測(cè)流體不直接接觸,克服了接觸式的缺點(diǎn)。
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流量控制器優(yōu)點(diǎn)
熱式質(zhì)量流量器可測(cè)量低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量;浸入式熱式質(zhì)量流量計(jì)可測(cè)量低~中偏高流速(氣體2~60m/s),插入式熱式質(zhì)量流量計(jì)更適合于大管徑。
熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)活動(dòng)部件,無(wú)分流管的熱分布式儀表無(wú)阻流件,壓力損失很小;帶分流管的熱分布式儀表和浸入性儀表,雖在測(cè)量管道中置有阻流件,但壓力損失也不大。
熱式質(zhì)量流量計(jì)使用性能相對(duì)可靠。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計(jì)算單元等,僅有流量傳感器,組成簡(jiǎn)單,出現(xiàn)故障概率小。
熱分布式儀表用于H2 、N2 、O2、CO 、NO等接近理想氣體的雙原子氣體,不必用這些氣體專門標(biāo)定,直接就用空氣標(biāo)定的儀表,實(shí)驗(yàn)證明差別僅2%左右;用于Ar、He等單原子氣體則乘系數(shù)1.4即可;用于其他氣體可用比熱容換算,但偏差可能稍大些。
氣體的比熱容會(huì)隨著壓力溫度而變,但在所使用的溫度壓力附近不大的變化可視為常數(shù)。
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流量器安裝使用注意事項(xiàng)
厚禮博專業(yè)生產(chǎn)、銷售熱式質(zhì)量流量器,我們?yōu)槟治鲈摦a(chǎn)品的以下信息。
安裝姿勢(shì)(方向)
1)熱分布式 大部分熱分布式TMF的流量傳感器可任何姿勢(shì)(水平、 垂直或傾斜)安裝,有些儀表只要安裝好后在工作條件壓力、溫度下作電氣零點(diǎn)調(diào)整。然而有些型號(hào)儀表對(duì)安裝姿勢(shì)具有敏感性,大部分制造廠會(huì)對(duì)此就安裝姿勢(shì)影響和安裝要求作出說(shuō)明。例如LDG-□DB系列為減少環(huán)境氣氛對(duì)流傳熱影響,只能水平安裝,水平度允差±20。應(yīng)用于高壓氣體時(shí)流量傳感器則寧可選擇水平安裝,因?yàn)檫@樣便于做到調(diào)零的零偏置。與推導(dǎo)式質(zhì)量流量?jī)x表相比,不需溫度傳感器,壓力傳感器和計(jì)算單元等,僅有流量傳感器,組成簡(jiǎn)單,出現(xiàn)故障概率小。
2)浸入式 大部分浸入式TMF性能不受安裝姿勢(shì)影響。然而在低流速測(cè)量時(shí)因受管道內(nèi)氣體對(duì)流的熱流影響,使安裝姿勢(shì)顯得重要。因此在低和非常低流速流動(dòng)時(shí)要獲得準(zhǔn)確測(cè)量,必須遵循制造廠依據(jù)儀表設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)而定的安裝建議。
什么是流量控制器
質(zhì)量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能,更重要的是,它能自動(dòng)控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化,也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀,光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點(diǎn):精度高,重復(fù)性好。流量控制器內(nèi)存在水汽有多糟解決方法如果ALICAT質(zhì)量流量控制器內(nèi)滲入水汽,情況則不至于那么糟。
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